本發(fā)明涉及灌漿材料的,尤其是涉及一種用于光刻機(jī)組防震座的環(huán)氧樹脂灌漿料。、防震座是用于確保光刻機(jī)等高精度半導(dǎo)體設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵組件,核心作用在于有效的隔離外界震動(dòng)干擾,保障納米級(jí)的加工精度。針對(duì)于光刻機(jī)組防震座的固定,核心目標(biāo)是實(shí)現(xiàn)無縫無彈性的剛性連接,為上層的主動(dòng)或被動(dòng)隔振系統(tǒng)提供一個(gè)...