本發(fā)明涉及將圖案從網(wǎng)狀物轉(zhuǎn)移到基板上,例如在太陽能電池和電路板的制造過程中進(jìn)行轉(zhuǎn)移,其中該圖案還可以是導(dǎo)電的。
背景技術(shù):
1、在某些產(chǎn)品的制造過程中,需要將物質(zhì)圖案施加到基材表面,所施加的圖案旨在發(fā)揮功能、裝飾作用或兩者兼具。
2、例如,在制造太陽能電池、電路板、觸摸屏和射頻識(shí)別?(rfid)?天線等物品時(shí),人們可能希望根據(jù)所需的圖案,將一種物質(zhì)涂覆到基材上,該物質(zhì)包含導(dǎo)電材料顆粒的組合物,通常還包含一種粘合劑,用于將顆粒保持在所需的形狀(例如,線條圖案、線條橫截面等),?和/或一種粘合劑,該粘合劑可以增強(qiáng)與目標(biāo)基材的粘合力或促進(jìn)與其的任何功能性交互。
3、例如,在太陽能電池中,基板可以是半導(dǎo)體晶片;在印刷電路板中,基板可以是電絕緣基板。
4、雖然此類基材通常是剛性和平面的,但也可以使用柔性和/或非平面(例如,彎曲的)基材。
5、在某些情況下,例如對于?rfid?設(shè)備或圖案具有裝飾性時(shí),可能需要將實(shí)體圖案直接應(yīng)用于三維物品上,例如設(shè)備主體的一部分或裝飾品,此時(shí)表面可以是平的或彎曲的。
6、本技術(shù)人此前已在ep?3826438中提出過一種將導(dǎo)電圖案施加到基材上的方法,該方法包括提供一種柔性膜或網(wǎng),該柔性膜或網(wǎng)具有由可變形塑料聚合物(例如熱塑性聚合物)制成的層,該層能夠被壓印或澆鑄。
7、膜的第一表面(或網(wǎng)的正面)具有某種圖案
8、其中形成的溝槽圖案與要施加到基板上的所需導(dǎo)電圖案的至少一部分相對應(yīng)。
9、將組合物裝入膜的第一表面的凹槽中,或者以其他方式沉積在其上,該組合物包括導(dǎo)電材料顆粒和粘合劑。?填充過程以填充循環(huán)進(jìn)行,使得填充完成后,組合物基本填充凹槽,與膜的第一表面齊平,并且凹槽之間的第一表面部分基本沒有組合物。?接下來,將膜與基材接觸,膜的第一表面朝向基材的所需表面,并對膜施加壓力,使加載到膜的第一表面凹槽中的化合物粘附到基材上。?接下來,可以將膜從基底上分離,從而將膜第一表面凹槽中的成分轉(zhuǎn)移到基底上。?之后可施加能量燒結(jié)導(dǎo)電顆粒,使從溝槽轉(zhuǎn)移到基材上的成分圖案具有導(dǎo)電性。
10、申請人已在?ep?3491900?中公開了類似的方法,其全文以引用方式并入本文。
11、在?ep?3491902?中(該專利全文也通過引用并入本文),?申請人進(jìn)一步提出了一種裝置,?用于將可轉(zhuǎn)移組合物的圖案(例如含有導(dǎo)電材料顆粒和熱激活粘合劑的組合物)從這種柔性網(wǎng)的表面轉(zhuǎn)移到基材的表面。
12、該裝置包括相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),用于同時(shí)推進(jìn)網(wǎng)狀物網(wǎng)狀物和基材通過夾口,在該夾口處,網(wǎng)狀物和基材的表面相互壓緊。?提供加熱工位,用于在通過輥壓之前和/或期間將網(wǎng)狀物和/或基材加熱到一定溫度,使組合物中的粘合劑在表面相互接觸時(shí)被激活。?冷卻工位可用于冷卻經(jīng)過輥壓后的紙幅,并在紙幅選擇性地通過分離裝置之前冷卻紙幅,該分離裝置可將紙幅從基材上剝離,使組合物圖案粘附在基材表面。
13、例如,當(dāng)采用上述方法和裝置將導(dǎo)電圖案施加到基板上時(shí),發(fā)現(xiàn)施加到基板上的圖案尺寸可能會(huì)發(fā)生變化。
14、不僅不同織物上轉(zhuǎn)移的圖案尺寸會(huì)有所不同,而且即使是同一織物上轉(zhuǎn)移的圖案,在從織物轉(zhuǎn)移到基材的過程中,其尺寸也會(huì)逐漸變化。?這些變化既可以體現(xiàn)在圖案的長度上,也可以體現(xiàn)在沿網(wǎng)狀物運(yùn)動(dòng)方向測量的長度上。?指其在?x?方向上的寬度(可以稱為?x?方向),?以及在橫向方向上的寬度(可以稱為?y?方向)。?這種變化可能是由于生產(chǎn)帶有圖案的織物過程中的條件造成的,也可能是由于將圖案從織物轉(zhuǎn)移到基材的過程中的條件造成的。?這種變化可能會(huì)導(dǎo)致實(shí)際值與預(yù)期標(biāo)稱值之間的偏差超過可接受的偏差范圍。在這種情況下,尺寸不符的轉(zhuǎn)移圖案可能無法與基板和/或轉(zhuǎn)移到同一基板另一側(cè)的圖案正確對齊。
15、此外,一些與理想尺寸的偏差可能會(huì)對轉(zhuǎn)移圖案的外觀和/或功能產(chǎn)生不利影響。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明旨在緩解應(yīng)用于不同基材上的圖案尺寸差異的問題,當(dāng)圖案由柔性網(wǎng)狀物承載時(shí),該問題尤為重要。
2、發(fā)明概述
3、本發(fā)明一方面提供了一種用于將可變形塑料材料網(wǎng)狀物承載的圖案轉(zhuǎn)移到基材的裝置,所述裝置包括限定于至少一個(gè)壓印線輥和背襯支撐件之間的壓印線,所述基材與所述網(wǎng)狀物同時(shí)通過所述壓印線,并借助于所述壓印線施加壓力以實(shí)現(xiàn)所述圖案從所述網(wǎng)狀物到所基材的轉(zhuǎn)移,所述裝置特征在于,布置在所述壓印線上游的網(wǎng)狀物加熱器和網(wǎng)狀物張緊器,以及控制單元,所述控制單元用于根據(jù)指示轉(zhuǎn)移前所述網(wǎng)狀物上的所述圖案的長度和寬度或轉(zhuǎn)移后所述基材上的所述圖案的長度和寬度的數(shù)據(jù)來控制所述網(wǎng)狀物加熱器和所述網(wǎng)狀物張緊器,以確保轉(zhuǎn)移到所述基材后,所述圖案符合所需的長度和寬度。
4、轉(zhuǎn)移到基板后,圖案的尺寸不必與所需的尺寸完全一致。
5、圖案的尺寸可能在允許的偏差范圍內(nèi)(無論是絕對值,例如在?100?微米?(μm)?以內(nèi),還是相對值,例如在理想長度和/或?qū)挾鹊?1%?以內(nèi))。
6、在某些情況下,只要圖案符合表征它們的所需尺寸,圖案在基板上的相對位置就不是關(guān)鍵的;而在其他情況下,可能還需要將圖案應(yīng)用于基板的特定區(qū)域內(nèi)。
7、基板表面內(nèi)需要進(jìn)行圖案轉(zhuǎn)移的區(qū)域可以稱為“轉(zhuǎn)移區(qū)域”,而基板上不需要進(jìn)行圖案轉(zhuǎn)移的區(qū)域可以稱為“非轉(zhuǎn)移區(qū)域”。
8、一般來說,無轉(zhuǎn)移區(qū)域?形成圍繞圖案周長至少一部分的邊界,但它們也可以(或此外)?是其他允許的轉(zhuǎn)移區(qū)域內(nèi)的區(qū)域。?當(dāng)需要將網(wǎng)絡(luò)上的圖案與基板的至少一個(gè)邊緣對齊時(shí),還可以考慮基板的尺寸,或者通過設(shè)備確定基板的尺寸,以便將每個(gè)圖案與要轉(zhuǎn)移到的每個(gè)基板對齊。
9、可以通過以下至少一種方式解決每個(gè)圖案與其基材的相對對齊問題:
10、a)?一個(gè)導(dǎo)紙裝置,該裝置能夠主動(dòng)地將紙幅沿?y?方向移動(dòng)到壓力輥上游,使其沿?x?方向朝向壓力輥移動(dòng),或者設(shè)計(jì)用于將紙幅保持在預(yù)先確定的橫向路徑內(nèi);
11、b)?一個(gè)對準(zhǔn)裝置,該裝置能夠定位基材的側(cè)邊(即其?y?位置)和/或旋轉(zhuǎn)基材,使其與紙幅上圖案的傾斜度相匹配,然后再將基材放入壓力輥;以及
12、c)?一個(gè)速度調(diào)節(jié)裝置,該裝置能夠加速或減速基材,以確保其進(jìn)入壓力輥的時(shí)間(即其?x?位置)與攜帶待轉(zhuǎn)移圖案的紙幅進(jìn)入壓力輥的時(shí)間一致。
13、例如,可以設(shè)置該裝置(例如,通過適當(dāng)操作合適的網(wǎng)狀物引導(dǎo)裝置、基板對準(zhǔn)裝置和/或基板速度調(diào)節(jié)器),?使圖案和基板的質(zhì)心點(diǎn)基本重合(或處于所需的間距),?而兩者則通過壓印線。
14、在某些情況下,當(dāng)需要在基板的兩側(cè)應(yīng)用圖案,并且兩個(gè)圖案需要彼此對齊時(shí),第一張紙上承載的第一圖案的所需長度和寬度可能取決于第二張紙上承載的第二圖案的長度和寬度。
15、在這種情況下,可以設(shè)置第一腹板和第二腹板的加熱和張緊力中的至少一個(gè),以確保適當(dāng)?shù)南嗷R。
16、在一個(gè)實(shí)施例中,當(dāng)特定轉(zhuǎn)移區(qū)域用于施加圖案時(shí),不同網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)(基板側(cè)面)上的圖案不僅需要彼此對齊,還需要與基板對齊。
17、在這種情況下,至少其中一個(gè)網(wǎng)和基材可以彼此對齊(例如,如前所述,單個(gè)網(wǎng)用于在基材的一側(cè)施加圖案的情況)。?當(dāng)使用兩張網(wǎng)分別在基板兩側(cè)傳遞相同或不同的圖案時(shí),基板兩側(cè)的轉(zhuǎn)移區(qū)域需要?可能不同(例如,形狀和/或相對于基板邊緣的位置不同)。
18、在本發(fā)明的一些實(shí)施例中,可以在圖案到達(dá)壓印線(圖案在此處轉(zhuǎn)移到基材上)之前對紙幅上的圖案或基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行測量,并且在將圖案從紙幅轉(zhuǎn)移到基材的過程中,根據(jù)測量結(jié)果調(diào)節(jié)紙幅進(jìn)入壓印線之前的溫度和張力。
19、在其他實(shí)施例中,可以對轉(zhuǎn)移到基材上的圖案進(jìn)行測量,并且在將圖案從網(wǎng)狀物轉(zhuǎn)移到其他基材的過程中,根據(jù)測量結(jié)果調(diào)節(jié)網(wǎng)狀物進(jìn)入壓印線之前的溫度和張力。
20、圖案的長度可以通過改變鉗口上游的網(wǎng)的張力來改變,但這種拉伸網(wǎng)的現(xiàn)象也可能減小網(wǎng)的寬度,從而減小圖案的寬度。
21、加熱紙幅會(huì)使紙幅軟化,從而增加其在通過壓力輥時(shí)的變形,導(dǎo)致圖案的寬度和長度隨著溫度的升高而增加。
22、本發(fā)明通過在網(wǎng)狀物進(jìn)入輥壓口之前和/或離開輥壓口之后,根據(jù)測量結(jié)果正確設(shè)置網(wǎng)狀物張力和溫度,確保在轉(zhuǎn)移過程中根據(jù)需要拉伸圖案,以便在轉(zhuǎn)移到基材后更準(zhǔn)確、更一致地符合所需的長度和寬度。
23、可以在生產(chǎn)網(wǎng)狀物時(shí)測量圖案的長度和寬度,并在生產(chǎn)過程中在網(wǎng)狀物上應(yīng)用編碼標(biāo)記(例如條形碼),?其中包含指示圖案尺寸的數(shù)據(jù)。
24、在本發(fā)明的這種實(shí)施方式中,裝置的控制單元將根據(jù)從網(wǎng)狀物讀取的數(shù)據(jù)來設(shè)置網(wǎng)狀物的溫度和張力。
25、編碼標(biāo)記可以提供與沿網(wǎng)狀物在一定距離內(nèi)顯示的不同變化相關(guān)的信息,網(wǎng)狀物的溫度和張力會(huì)進(jìn)行調(diào)節(jié),以適應(yīng)所述距離。
26、此外,網(wǎng)絡(luò)上可能存在可檢測的數(shù)據(jù)標(biāo)記。
27、幅面上的數(shù)據(jù)標(biāo)記可以衡量幅面上圖案在標(biāo)記附近區(qū)域的長度和寬度,或者可以對所述尺寸進(jìn)行實(shí)際的在線測量,或者可以指示控制單元在將圖案轉(zhuǎn)移到基材時(shí)設(shè)置的最佳幅面溫度和幅面張力。?如果在圖案轉(zhuǎn)移過程中保持恒定的溫度和壓力,就能在基底上持續(xù)獲得尺寸恒定的轉(zhuǎn)移圖案,那么這種方法就足夠了。?然而,正如前面提到的,實(shí)踐中發(fā)現(xiàn),在從單個(gè)網(wǎng)狀物轉(zhuǎn)移圖案的過程中,尺寸變化可能會(huì)逐漸發(fā)展。?為了彌補(bǔ)此類誤差,在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中,該裝置包括傳感器,用于測量在輥壓器上游位置轉(zhuǎn)移時(shí),幅布上圖案的寬度和長度。
28、可以理解的是,由于與送紙速度(例如,最高可達(dá)?1?米/秒)相比,紙幅溫度的變化速度相對較慢,因此無法使用這種方法來校正同一紙幅上相鄰圖案之間轉(zhuǎn)移圖案尺寸的隨機(jī)變化。
29、然而,這種方法至少可以減少實(shí)驗(yàn)中發(fā)現(xiàn)的逐漸尺寸變化。
30、在一個(gè)實(shí)施例中,傳感器可以包括用于確定網(wǎng)狀物兩側(cè)特定標(biāo)記位置的光學(xué)傳感器,這些標(biāo)記可以是與(例如,導(dǎo)電的)圖案不同的基準(zhǔn)標(biāo)記,也可以是圖案的元素,從而提供指示網(wǎng)狀物上圖案寬度的測量值。
31、例如,可以預(yù)期,標(biāo)記(或后續(xù)圖案中相應(yīng)位置的元素)在沿網(wǎng)重復(fù)出現(xiàn)時(shí),其間距應(yīng)為預(yù)先確定的間距。
32、壓力輥可能與軸編碼器相關(guān)聯(lián),該編碼器能夠測量紙幅通過壓力輥的運(yùn)動(dòng)。
33、在這種實(shí)施例中,通過輥縫的紙幅長度(由光學(xué)傳感器檢測到紙幅上連續(xù)的特定標(biāo)記)可以指示紙幅上圖案的長度。
34、在一個(gè)實(shí)施例中,網(wǎng)狀物加熱器可以是位于壓印線上游的加熱輥,但也可以通過鼓風(fēng)機(jī)或輻射加熱網(wǎng)狀物的一部分。
35、此外,至少有一個(gè)表面(當(dāng)接合時(shí),該表面定義了進(jìn)行轉(zhuǎn)移的壓痕,即壓痕輥或背襯支撐件)可能包含加熱器。
36、在一個(gè)實(shí)施例中,該裝置適于將圖案轉(zhuǎn)移到同一基板的兩側(cè)。
37、在這種情況下,該裝置可以包括兩個(gè)獨(dú)立的鉗口,每個(gè)鉗口用于將特定圖案從相應(yīng)的網(wǎng)片轉(zhuǎn)移到特定的一面。?壓力輥可由一個(gè)壓力輥和一個(gè)支撐件組成,也可由兩個(gè)并排排列的壓力輥組成。?或者,可以將兩種圖案從各自的網(wǎng)片在同一壓印線處轉(zhuǎn)移到基材的兩側(cè),在這種情況下,壓印線由兩個(gè)通常對稱的壓印線輥組成。
38、在一個(gè)實(shí)施例中,該裝置可以包括在壓力輥上游的導(dǎo)網(wǎng)系統(tǒng),該系統(tǒng)能夠橫向改變紙幅相對于壓力輥側(cè)端的位置(即紙幅邊緣相對于壓力輥的?y?位置),?該導(dǎo)網(wǎng)系統(tǒng)包括任何合適的導(dǎo)網(wǎng)裝置,該導(dǎo)網(wǎng)裝置響應(yīng)于紙幅邊緣傳感器或任何其他能夠檢測紙幅位置的傳感器,允許將紙幅的側(cè)邊相對于壓力輥正確定位(因此也相對于獨(dú)立地與同一壓力輥對齊的基材正確定位)。
39、該網(wǎng)狀物引導(dǎo)系統(tǒng)可包括一個(gè)或多個(gè)網(wǎng)狀物引導(dǎo)裝置,這些裝置選自放卷網(wǎng)狀物引導(dǎo)裝置、轉(zhuǎn)向網(wǎng)狀物引導(dǎo)裝置、位移網(wǎng)狀物引導(dǎo)裝置和偏置樞軸引導(dǎo)裝置,該系統(tǒng)還包括傳感器、控制器和/或執(zhí)行器,用于檢測和糾正(例如,減少或消除)網(wǎng)狀物偏離所需位置的情況。?例如,可以將網(wǎng)狀物引導(dǎo)系統(tǒng)的執(zhí)行器配置為在網(wǎng)狀物在其上移動(dòng)時(shí)移動(dòng)和/或傾斜輥筒。
40、在一個(gè)實(shí)施例中,該裝置可以包括在壓力輥上游的基板對準(zhǔn)裝置,該基板對準(zhǔn)裝置配置為至少修改基板相對于壓力輥的?y?坐標(biāo)(因此也修改基板上獨(dú)立對準(zhǔn)同一壓力輥的網(wǎng)狀物和/或圖案的?y?坐標(biāo))。
41、在一個(gè)實(shí)施例中,對準(zhǔn)裝置可以橫向移動(dòng)基板,移動(dòng)的距離(向右或向左)與從基板的前緣到后緣測量的距離相同,而角點(diǎn)的?x?坐標(biāo)不受對準(zhǔn)的影響。?在其他實(shí)施例中,對準(zhǔn)裝置可以進(jìn)一步修改基板至少三個(gè)角的?x?坐標(biāo)。?換句話說,對準(zhǔn)裝置可以旋轉(zhuǎn)基板,使其相對于進(jìn)入基材驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)時(shí)最初的方向旋轉(zhuǎn)。?基板的這些橫向位移或旋轉(zhuǎn)可以通過基板對準(zhǔn)裝置來實(shí)現(xiàn),該裝置包括位于基板相對兩側(cè)的橫向擋塊,這些擋塊可以沿?y?方向彼此相對移動(dòng),橫向擋塊可以可逆地相互偏置,以在相對于壓力輥的任何所需位置夾緊基板的相對側(cè)邊緣,從而使基板按照擋塊可控設(shè)置的所需對準(zhǔn)方式向壓力輥推進(jìn)。
42、在一個(gè)實(shí)施例中,該裝置可包括位于壓力輥上游的速度調(diào)節(jié)裝置,該裝置適于在基材進(jìn)入壓力輥之前加速或減速基材,以確保基材進(jìn)入壓力輥的時(shí)間(即其?x?位置)與基材進(jìn)入壓力輥的時(shí)間一致。
43、帶有待轉(zhuǎn)移圖案的網(wǎng)狀物。
44、根據(jù)本發(fā)明原理,利用該裝置和/或方法轉(zhuǎn)移到基材上的圖案可以是功能性的或裝飾性的,基材和柔性網(wǎng)承載的可轉(zhuǎn)移組合物可以根據(jù)轉(zhuǎn)移圖案的預(yù)期最終用途進(jìn)行選擇和調(diào)整。
45、值得注意的是,由于圖案是通過柔性網(wǎng)承載的,因此要轉(zhuǎn)移到的基材不必完全是剛性和平面的,柔性和/或非平面(例如,彎曲的)基材也可以使用,并從本技術(shù)中受益。
46、另一方面,本發(fā)明提供了一種用于確保可變形塑料材料的網(wǎng)狀物承載的圖案在轉(zhuǎn)移壓印線處轉(zhuǎn)移到基材后符合所需的長度和寬度的方法,所述方法包括:a)?收集指示轉(zhuǎn)移前在所述網(wǎng)狀物上的或轉(zhuǎn)移后在所述基材上的所述圖案的長度和寬度的數(shù)據(jù);以及?b)?根據(jù)收集的數(shù)據(jù),控制網(wǎng)狀物的在所述壓印線的上游或在所述壓印線處的溫度和張力。
47、結(jié)合附圖和非限制性示例,以下詳細(xì)描述將更好地理解本發(fā)明的這些以及其他優(yōu)點(diǎn)和特點(diǎn)。
48、圖紙簡述
49、下面將結(jié)合附圖,通過示例進(jìn)一步描述本發(fā)明,其中相同的參考標(biāo)號(hào)或字符表示相應(yīng)的或相同的部件。
50、結(jié)合圖示,該說明書能夠使本領(lǐng)域普通技術(shù)人員清楚地了解如何實(shí)施本公開的一些實(shí)施例。
51、這些圖示僅用于說明性討論,并未試圖比對本公開內(nèi)容的基本理解所必需的細(xì)節(jié)更詳細(xì)地顯示實(shí)施例的結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)。
52、為了清晰方便地展示,圖中描繪的一些物體不一定按比例顯示。
53、圖中所示:
54、圖?1?與?ep?3491902?的圖?1?類似,為了完整性,在此重現(xiàn),以顯示一種用于將圖案從網(wǎng)狀物轉(zhuǎn)移到基板上的示例性裝置;
55、圖?2?是圖?1?中卷筒紙送料裝置的細(xì)節(jié)示意圖,這些細(xì)節(jié)已進(jìn)行修改以實(shí)施本發(fā)明;
56、圖?3?是圖?2?中部分網(wǎng)狀進(jìn)料裝置的透視圖;
57、圖?4?是網(wǎng)絡(luò)的一部分的透視圖,示意性地描繪了其中和/或其上的圖案;
58、圖?5?是網(wǎng)絡(luò)的一部分的透視圖,示意性地描繪了單個(gè)圖案以及如何對其進(jìn)行測量;
59、圖?6a?至?6c?為壓力輥的示意性側(cè)視圖,織物和基材可通過壓力輥進(jìn)行轉(zhuǎn)移;
60、圖?7?是根據(jù)本發(fā)明方法可包含的步驟的流程圖。
61、詳細(xì)描述
62、設(shè)備概述
63、圖?1?所示的示例性裝置旨在將圖案施加到基材10?的相對兩側(cè),這些圖案來自基板供應(yīng)裝置(例如堆疊?12),?這些圖案由可轉(zhuǎn)移的組合物制成,其中可能包含導(dǎo)電材料顆粒和粘合劑,這些粘合劑隨后可以通過熱激活和/或壓力激活。
64、在這種情況下,可以通過施加能量使該成分燒結(jié),從而使圖案具有導(dǎo)電性。
65、因此,在一個(gè)例子中,基材10?可以是半導(dǎo)體晶片或絕緣基板,該裝置將所需最終產(chǎn)品的正面和背面圖案(例如,電極、電路、天線等)施加到這些基板上。
66、然而,有些材料可能不需要施加能量就能導(dǎo)電,有些情況下可能不需要導(dǎo)電性,例如,圖案可能具有其他功能或只是裝飾性的。
67、如果要對圖案進(jìn)行處理以達(dá)到所需的功能和/或美觀效果,例如加熱使其導(dǎo)電,或熔化或固化以增強(qiáng)與基材的粘合力,則通常在將圖案轉(zhuǎn)移到合適的基材之后進(jìn)行此處理,并且可以與圖中所示的卷對卷設(shè)備離線進(jìn)行。
68、可應(yīng)用于基板每個(gè)面上的兩種圖案通常并不相同,但可能需要彼此正確對齊并與基板正確對齊。
69、在基材驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)?90?中,基材10?從堆疊?12?中逐個(gè)分配到檢測工位?60,在該檢測工位中,可以通過設(shè)置合適的檢測裝置對基板的上表面進(jìn)行光學(xué)分析,以檢測缺陷。
70、在接下來的選擇工位?62?中,可以通過合適的篩選裝置將發(fā)現(xiàn)有缺陷的基板剔除。
71、基材10?無缺陷的部件被推進(jìn)到對準(zhǔn)裝置?50?上,在一個(gè)實(shí)施例中,它們還可以被加熱器?52?加熱。
72、如果需要,在對準(zhǔn)工位對基材10?進(jìn)行加熱,并正確定位和定向后,將基材10?送入壓印線40?中,在本圖中,壓印線40?由兩個(gè)壓力輥?22a?和?22b?構(gòu)成。
73、分配給設(shè)備中某個(gè)工位點(diǎn)(子系統(tǒng))的參考編號(hào)也可用于識(shí)別執(zhí)行分配給該工位點(diǎn)的功能的相關(guān)設(shè)備。
74、例如,參考編號(hào)?60?可以互換地用于指代可以檢查基板的工位,以及用于檢測與基板相關(guān)的任何缺陷的檢測設(shè)備。
75、雖然建議配備檢測工位?60?和選擇工位?62?來檢測和剔除有缺陷的基板,但這些工位點(diǎn)對于設(shè)備的運(yùn)行并非必不可少,只是從質(zhì)量控制的角度來看比較可取。
76、在壓力輥下游,通常在柔性網(wǎng)剝離之后,可以選擇性地進(jìn)一步設(shè)置具有類似作用的工位,以檢測缺陷圖案并消除帶有此類缺陷的基材。
77、在圖?1?中,通過傳感器?80a?和?80b?示意性地說明了對基板和/或轉(zhuǎn)移到基板上的圖案的下游檢測,這些傳感器可以與位于壓力輥上游的傳感器相同,也可以不同,例如傳感器?70,為了便于說明,傳感器?70?是一個(gè)光學(xué)傳感器,例如相機(jī)?122?和?601,所有這些都將在下文中詳細(xì)說明。
78、當(dāng)該裝置包括位于壓印線上游的工位?60?和?62?時(shí),可以考慮進(jìn)一步包括一個(gè)加速工位?64,使得在被排出的有缺陷基材之后被拉出的無缺陷基材能夠與網(wǎng)狀圖案同步到達(dá)壓印線。
79、因此,這種加速工位?64?可以防止在沒有基質(zhì)的情況下,網(wǎng)在夾持處“空”進(jìn)料。
80、然而,這種加速工位并非必不可少,因?yàn)榭梢酝ㄟ^其他方法容忍或緩解這種空進(jìn)料,例如添加從無缺陷基板(例如晶圓)緩沖區(qū)中預(yù)先選出的完美基板,或者通過任何類似的解決方案。
81、更一般地,無論是否存在用于檢測和消除有缺陷基材?10?的檢查工位?60?或選擇工位?62,工位?64?都可以用于改變送入壓印線?40?的基材的速度。
82、因此,第?64?工位也可以稱為速度調(diào)節(jié)工位,其中包含的同名裝置能夠根據(jù)需要加速或減速基材,以確保其進(jìn)入壓印線時(shí)與要與之對齊的網(wǎng)版上的圖案同步。?在本圖中,要轉(zhuǎn)移到基材上的成分圖案由兩個(gè)柔性網(wǎng)狀物14a?和?14b?承載。?待轉(zhuǎn)移的物質(zhì),也稱為可轉(zhuǎn)移組合物,可以位于網(wǎng)狀物表面以下的凹槽內(nèi)(例如溝槽內(nèi))和/或網(wǎng)狀物表面。?帶有物質(zhì)圖案的網(wǎng)面可以稱為網(wǎng)的正面,而網(wǎng)的另一面可以稱為網(wǎng)的背面。
83、從圖?1?可以清楚地看出,兩個(gè)網(wǎng)狀物14a?和?14b?的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以互為鏡像。
84、為避免重復(fù),本說明書中將使用不帶后綴的參考標(biāo)號(hào)來泛指兩個(gè)卷筒驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的部件,但在附圖中,使用后綴“a”和“b”來區(qū)分上驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
85、每張網(wǎng)狀物14?由電動(dòng)供紙輥?16?通過惰輥?18?和舞動(dòng)器20?從左向右移動(dòng)(如箭頭?21?所示),?從而拉出或釋放紙幅的松弛部分。
86、放卷機(jī)?16?還可以用作網(wǎng)狀物引導(dǎo)裝置,供料輥可沿其縱軸旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng),從而調(diào)整網(wǎng)狀物的橫向位置。?從目前的裝置視圖來看,通過將供料輥移至繪圖平面的前面或后面,即可實(shí)現(xiàn)紙幅的橫向引導(dǎo)。?此外,還可以通過沿紙幅路徑適當(dāng)布置的合適引導(dǎo)輥來引導(dǎo)紙幅的側(cè)邊。
87、例如,靠近壓印線的輥?18?可根據(jù)需要用作引導(dǎo)裝置,彎曲紙幅,使其到達(dá)下一個(gè)工位(例如,壓印線?40)時(shí)與所需位置更好地對齊。
88、如果需要滿足其他對準(zhǔn)約束,可以使用任何其他位移引導(dǎo)裝置來實(shí)現(xiàn)網(wǎng)狀物的橫向引導(dǎo),上述所有網(wǎng)狀物引導(dǎo)裝置均稱為網(wǎng)狀物引導(dǎo)系統(tǒng),每個(gè)此類引導(dǎo)系統(tǒng)包括(如果需要)其自身的檢測系統(tǒng)和控制器,以及能夠?qū)嵤┧杓m正措施的任何執(zhí)行器(如果這些組件是單獨(dú)的,則圖中未顯示)。
89、然后,網(wǎng)狀物14?穿過兩個(gè)壓力輥?22?之間,這兩個(gè)壓力輥定義了壓印線40,基材被送入其中。
90、在壓力輥中,網(wǎng)狀物?14?上的組合物圖案被壓向基材?10?的表面,從而使組合物圖案粘附在基材上。?如圖所示,紙幅隨后經(jīng)過冷卻工位?23?和兩個(gè)輥?26?之間的分離裝置30。?通過裝置?30?將紙卷從基材?10?上分離后,紙卷被重新卷繞到收卷輥?32?上。?就柔性網(wǎng)而言?與基材分離后,考慮到構(gòu)成該材料的塑料材料的成本以及可用于制造該材料的方法(例如卷對卷壓花),?該材料可在使用一次后丟棄。?柔性網(wǎng)如果分離,在某些情況下可能會(huì)發(fā)生不可逆的變形,但這種變形不會(huì)影響從分離的網(wǎng)轉(zhuǎn)移過來的圖案。
91、為了確保成分圖案與基材正確對位,光學(xué)傳感器?70?被放置在惰輥?18?的上游,以感應(yīng)網(wǎng)狀物14?上的圖案或與其相關(guān)的標(biāo)記。
92、任何類型的光學(xué)傳感器,只要適合于待檢測的圖案和/或標(biāo)記,都可適用于本裝置。?光學(xué)傳感器可以是圖像傳感器、光纖傳感器、對比度傳感器,或任何其他適于檢測光信號(hào)的類似傳感器。
93、圖?4?示意性地展示了根據(jù)本教導(dǎo)的裝置和方法中可使用的網(wǎng)狀物的透視圖。
94、在圖?4?中,箭頭?400?表示任何適合測量柔性網(wǎng)?100?內(nèi)部或表面上的可轉(zhuǎn)移組合物的圖案?410?的寬度?w?和長度?l?的傳感器。?網(wǎng)面上設(shè)有可由傳感器?400?檢測到的標(biāo)記?420?和?430,如圖所示,標(biāo)記位于網(wǎng)面的兩側(cè),但這并不具有限制性,因?yàn)闃?biāo)記也可以位于每個(gè)圖案的上游和/或下游,甚至在某些情況下位于圖案內(nèi)部。?該圖還顯示了圖案中的特定元素?440?如何以另一種方式或額外方式履行類似的檢測和測量功能。?在軋輥下游,剝離網(wǎng)狀物后,與下游傳感器進(jìn)行檢測和測量相關(guān)的標(biāo)記(如果存在)通常是轉(zhuǎn)移圖案中的特定元素,除非基準(zhǔn)標(biāo)記是由可轉(zhuǎn)移材料制成的。?在此圖中,僅表示一個(gè)傳感器?400,當(dāng)傳感器的檢測范圍足夠?qū)挘梢愿兄c預(yù)期測量相關(guān)的所有標(biāo)記時(shí),此傳感器是合適的(例如,如果像標(biāo)記?420?和?430?所示那樣位于網(wǎng)狀物的相對兩側(cè)),?并且傳感器相對于網(wǎng)狀物的布置方式可以理想地檢測其兩個(gè)側(cè)邊。
95、如果傳感器的檢測范圍較為有限,則可能需要使用多個(gè)傳感器來檢測所有相關(guān)的標(biāo)記。?如圖所示,圖案中的細(xì)水平線可以表示轉(zhuǎn)移到太陽能電池基板上的“手指”狀痕跡,而寬橫線可以表示匯流條。?用于形成指狀結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移組合物通常位于網(wǎng)狀表面下方的凹槽中,這些凹槽具有適合太陽能電池指狀結(jié)構(gòu)的橫截面輪廓(例如,凹槽的橫截面為三角形,優(yōu)選具有較高的縱橫比)。?相比之下,?由于母線的形狀,可轉(zhuǎn)移的成分可以在網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的表面上找到。
96、雖然為了簡單起見,本文描述了將圖案從網(wǎng)狀物轉(zhuǎn)移到基材的過程,該過程涉及控制網(wǎng)狀物加熱器和網(wǎng)狀物張緊器(設(shè)置在轉(zhuǎn)移輥的上游),?并且僅依賴于指示圖案特征尺寸(例如,它們的長度和/或?qū)挾龋┑臄?shù)據(jù),這些尺寸可以在轉(zhuǎn)移前的網(wǎng)狀物上測量,也可以在轉(zhuǎn)移后的基材上測量(或兩者兼有),?但圖案的長度和寬度不必是符合所需值的唯一尺寸。
97、圖?5?顯示了一個(gè)單一的模式,該模式將用于解釋如何通過任何合適的傳感器、相機(jī)或掃描儀獲取相關(guān)數(shù)據(jù)后,從中得出測量結(jié)果。
98、雖然圖?4?中示意性地描繪的圖案輪廓是從正方形的俯視圖,但在本圖中,圖案的輪廓(用虛線表示)更像是一個(gè)梯形,以消除以下一些解釋的歧義。
99、為簡便起見,可以參考網(wǎng)狀圖案,類似的考慮也適用于轉(zhuǎn)移到合適基材上的圖案。因此,雖然在網(wǎng)狀物上,側(cè)邊可用于在網(wǎng)狀物平面上定位(例如,設(shè)置可確定?(x,y)?坐標(biāo)的軸)測量點(diǎn)(例如,圖案、輪廓和/或其相關(guān)標(biāo)記),?但基板的側(cè)邊也可用于定位在基板表面上測量的點(diǎn)。
100、以網(wǎng)片的一側(cè)邊緣為參考線(例如,在本圖中,以網(wǎng)片的下水平邊緣為參考線),并以該參考線上的某一點(diǎn)為該軸的原點(diǎn)(即坐標(biāo)為?(0,0)),?則可以通過評(píng)估圖案所在?x-y?平面中各點(diǎn)的?(x,y)?坐標(biāo)來確定網(wǎng)片上任何點(diǎn)的位置。
101、可以通過在每個(gè)圖案的相似位置重復(fù)測量指示圖案寬度或長度的兩個(gè)點(diǎn)之間的距離,來確定圖案的寬度?w?和/或長度?l?以及與所需值的偏差,或者類似尺寸的連續(xù)測量之間的變化。?圖?5?所示的圖案上標(biāo)記了?a-d?四個(gè)點(diǎn),這些點(diǎn)顯示在圖案輪廓的四個(gè)角上,但這不應(yīng)被解釋為限制性的,這些點(diǎn)也可以從網(wǎng)狀物上的基準(zhǔn)標(biāo)記或圖案中的元素中選擇。?雖然圖中沒有顯示,但后續(xù)圖案在相應(yīng)的位置可能有四個(gè)特征點(diǎn)?a’-d’,后續(xù)圖案的特征點(diǎn)為?a”-d”,然后是?a”’-d”’,依此類推。?可以通過測量a-c點(diǎn)或b-d點(diǎn)之間的距離,并將計(jì)算值與相關(guān)參考數(shù)據(jù)和/或類似計(jì)算結(jié)果進(jìn)行比較來評(píng)估圖案的寬度。
102、在?a’-c’?點(diǎn)或?b’-d’?點(diǎn)、a”-c”?點(diǎn)或?b”-d”?點(diǎn)、a”’-c”’?點(diǎn)或?b”’-d”’?點(diǎn)等之間進(jìn)行測量,以監(jiān)測寬度是否有逐漸變化,從而采取糾正措施和/或評(píng)估其效果。?類似地,可以通過測量點(diǎn)?a-b?或點(diǎn)?c-d?之間的距離,并將計(jì)算值與相關(guān)的參考數(shù)據(jù)和/或點(diǎn)a’-b’?或點(diǎn)?c’-d’、點(diǎn)?a”-b”?或點(diǎn)?c”-d”?等之間的類似計(jì)算結(jié)果進(jìn)行比較,來評(píng)估圖案的長度。
103、或者,圖案的寬度和/或長度可以計(jì)算為兩個(gè)或多個(gè)測量值的平均值。
104、由于目前的圖紙只描繪了四個(gè)點(diǎn)來描述圖案,因此將考慮兩個(gè)距離的平均值。?圖案的寬度?w?可以通過將點(diǎn)?a-c?之間的距離?(w1)?與點(diǎn)?b-d?之間的距離?(w2)?取平均值來計(jì)算。?圖案的長度?l?可以通過將點(diǎn)?a-b?之間的距離?(l1)?與點(diǎn)?c-d?之間的距離(l2)?取平均值來計(jì)算。
105、在通過適當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)采集確定了這四個(gè)示例性點(diǎn)的位置之后,就可以計(jì)算出更多信息。
106、例如,可以通過對每個(gè)?(x,y)?坐標(biāo)中點(diǎn)?a-d?的位置取平均值來確定圖案的質(zhì)心(質(zhì)量中心)的位置,該點(diǎn)?e?在此圖中用星號(hào)表示。
107、同樣地,確定了表征網(wǎng)狀圖案的點(diǎn)的坐標(biāo)后,就可以進(jìn)一步評(píng)估圖案相對于網(wǎng)狀邊緣的相對位置。
108、在某些情況下,圖案只需符合所需的長度或?qū)挾瓤赡苓€不夠,圖案還必須位于網(wǎng)頁的特定區(qū)域內(nèi)(換句話說,超出特定的邊距)。?以圖案的寬度為例,a-c?點(diǎn)或?b-d?點(diǎn)之間的距離,或者?w1?和?w2?的平均值,可能不足以滿足?w?的參考值設(shè)定要求,但?a-d?點(diǎn)與其在紙幅邊緣上各自最近的投影之間的距離,可能也需要大于為圖案不能位于紙幅(或轉(zhuǎn)移后位于基材上)的邊緣設(shè)定的值。?同樣,a-b?點(diǎn)或?c-d?點(diǎn)之間的距離,或者?li?和?l2?的平均值,可能不足以滿足?l?的參考值設(shè)定要求,但?a-d?點(diǎn)與其在基板邊緣上各自最近的投影之間的距離,可能也需要大于圖案不能位于基板上的邊距所設(shè)定的值。
109、由測量點(diǎn)?a-d?導(dǎo)出的圖案質(zhì)心?e?與參考圖案質(zhì)心的理想位置之間的相對位移,也可能表明圖案形狀存在偏差。?或者,可以通過測量網(wǎng)狀物邊緣與為此目的選定的兩點(diǎn)之間的直線之間的角度來評(píng)估圖案方向的傾斜度。?為了說明圖?5?所示的圖案,可以預(yù)期線a-b?與網(wǎng)片的側(cè)邊平行,該虛擬線與邊緣(例如,圖中的上線)之間形成的角度代表傾斜角α。?在某種程度上,可以通過在對準(zhǔn)裝置?50?的輔助下使基板產(chǎn)生類似的傾斜來糾正圖案中的傾斜,該對準(zhǔn)裝置?50?可以包括側(cè)推器,能夠在基板進(jìn)入壓力輥時(shí)為其設(shè)定一個(gè)較小的角度(例如,修改其至少一個(gè)角的?y?坐標(biāo))。
110、在實(shí)踐中,圖案的傾斜(通常是由于制造誤差造成的)只有在形成與預(yù)期方向的角度不超過基板對準(zhǔn)裝置能夠稍微旋轉(zhuǎn)基板的能力時(shí)才能得到糾正,這樣可以增加基板邊緣與圖案預(yù)期方向的對準(zhǔn)程度。?換句話說,假設(shè)所有其他參數(shù)都如預(yù)期,如果網(wǎng)片的邊緣原本應(yīng)該與基材的側(cè)邊緣平行,那么虛擬線?a-b?與網(wǎng)片的側(cè)邊緣不平行這一事實(shí)就可以忽略不計(jì),因?yàn)楝F(xiàn)在基材已經(jīng)旋轉(zhuǎn),以確保其側(cè)邊緣與線?a-b?平行。
111、到目前為止,尺寸問題都是與可變形網(wǎng)絡(luò)上的圖案相關(guān)的,類似的方法也適用于基材。
112、然而,對于剛性基材,其寬度和長度的值也可以由制造商預(yù)先確定,或者在將其裝入設(shè)備之前預(yù)先確定。?也就是說,也可以通過沿基材驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)適當(dāng)布置的傳感器,由該設(shè)備進(jìn)行獨(dú)立的在線評(píng)估。?前緣和后緣可用于確定基材的長度,而側(cè)緣可用于確定基材的寬度。?表征基底的點(diǎn)可以是其四個(gè)角,或者在沒有相交直線邊緣的情況下,設(shè)置在基底邊緣直線部分的交點(diǎn)處的虛擬點(diǎn)(所述四個(gè)點(diǎn)例如稱為?alef、bet、guimel、dalet)。?基底質(zhì)心(he)的位置可以按照圖案的解釋進(jìn)行計(jì)算。?為了使圖案與其基底正確對齊,可能需要它們的質(zhì)心(e?和?he)重合,或者根據(jù)參考向量將一個(gè)相對于另一個(gè)定位。
113、轉(zhuǎn)移之后,現(xiàn)在可以考慮八個(gè)點(diǎn),a-d?點(diǎn)表征圖案,alef-dalet?點(diǎn)表征基底,從而可以直接評(píng)估轉(zhuǎn)移圖案輪廓與其基底之間的實(shí)際邊緣。?雖然圖示示意性地說明了一種可以將兩個(gè)圖案同時(shí)轉(zhuǎn)移到基材相對表面上的裝置,但本領(lǐng)域技術(shù)人員很容易理解如何制備類似的裝置,以將組合物圖案轉(zhuǎn)移到基材的單個(gè)面上。?在這種情況下,例如,壓力輥?22?和基材?10?的背襯支撐件?42?之間可以形成壓印線40。?此外,兩個(gè)圖案轉(zhuǎn)移到基材的相對表面上不必同時(shí)進(jìn)行,在這種情況下,該裝置可以包括兩個(gè)單獨(dú)的壓口,每個(gè)壓口對應(yīng)基材的每個(gè)面。
114、圖?6?以示意圖的形式展示了這些替代方案。其中,圖?a?描繪了由一個(gè)壓力輥?22和背襯支撐件?42?形成的單個(gè)壓印線?40a;圖?b?描繪了由兩個(gè)壓力輥?22a?和?22b?形成的單個(gè)壓印線?40b,?圖中這兩個(gè)壓力輥尺寸相近;圖?c?描繪了兩個(gè)連續(xù)的壓印線?40’?和40”,每個(gè)壓印線都與之前的壓印線?40a?相同。在其他情況下(圖中未顯示),?用于將材料轉(zhuǎn)移到基材不同側(cè)面的每個(gè)分離的第一和第二個(gè)壓印線也可以從壓印線?40a?和?40b?中獨(dú)立選擇。在圖?6a?至?6c?中,構(gòu)成示例壓力輥的表面彼此接觸,為了清晰起見,省略了基材和網(wǎng)狀物。
115、對于熟練的技術(shù)人員來說,很容易理解,形成夾持面的表面也可以在需要時(shí)分離,例如,為了對設(shè)備進(jìn)行維修、修理或清潔。
116、該裝置可能包括圖中未顯示的其他工位點(diǎn),其中一些工位點(diǎn)可以選擇離線,用于執(zhí)行可以在不同的時(shí)間和/或地點(diǎn)進(jìn)行的活動(dòng),和/或由不同的實(shí)體處理的活動(dòng)。
117、例如,該裝置可包括固化工位,用于固化轉(zhuǎn)移的圖案;爐,用于燒結(jié)轉(zhuǎn)移組合物的顆粒和/或?qū)⑥D(zhuǎn)移的圖案熔合到其各自的基材上;覆涂工位,用于覆涂轉(zhuǎn)移的圖案;以及任何類似的轉(zhuǎn)移后處理工位,能夠使轉(zhuǎn)移的圖案及其各自的基材更接近預(yù)期的即用型最終產(chǎn)品。?無論是離線式還是在線式,每個(gè)這樣的工位都可以稱為精加工工位。?該裝置可能包括其他在線工作工位,以方便進(jìn)行上述已描述和下文將進(jìn)一步詳細(xì)說明的任何活動(dòng)。?這些工位和相關(guān)設(shè)備中的一些可以在基材和/或紙幅進(jìn)入輥壓機(jī)之前對其進(jìn)行操作,通常被稱為預(yù)轉(zhuǎn)移工位(為了清晰起見,圖中也省略了這些工位)。?例如,該裝置可包括一個(gè)預(yù)涂覆工位,該預(yù)涂覆工位可在輥壓上游選擇性地或連續(xù)地在圖案上涂覆一層粘合劑,同時(shí)在幅材上、基材的選定區(qū)域上或兩者上涂覆形成中間粘合劑層。
118、在圖案和基底之間,促進(jìn)前者在壓痕處轉(zhuǎn)移到后者。
119、以上對可實(shí)施本發(fā)明的示例性裝置進(jìn)行了總體描述,現(xiàn)在將描述該裝置的各個(gè)組件和部件。
120、基板驅(qū)動(dòng)機(jī)制
121、圖中所示的裝置旨在用于制造太陽能電池或印刷電路板,其中基板通常是剛性的,形狀為方形半導(dǎo)體晶片或矩形絕緣板。
122、在詳細(xì)描述驅(qū)動(dòng)機(jī)制之前,應(yīng)該明確指出,其設(shè)計(jì)實(shí)際上取決于基材的性質(zhì),而基材的性質(zhì)又可能取決于要轉(zhuǎn)移到基材上的圖案類型(例如,功能性或裝飾性圖案)。
123、如果在其他實(shí)施例中,基材本身是柔性的,則基材的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以類似于網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
124、如果基材是?3d?物體,并且只在其一側(cè)施加(例如,導(dǎo)電)圖案,則基材驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)90?可以是經(jīng)過單個(gè)壓力輥?22?下方的傳送帶。?此類調(diào)整和修改可以由熟練人員輕松實(shí)施,無需在此贅述。
125、如圖?1?所示的實(shí)施例中,基材驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)?90?包括一個(gè)盒式結(jié)構(gòu),其中存儲(chǔ)著堆疊的單個(gè)基材10。
126、通過傳送帶(圖中未示出),?基材10?可以一次一個(gè)地從堆疊?12?分發(fā)到檢測工位60(例如,用于光學(xué)檢測缺陷),?在那里可以通過相機(jī)?601?從上方觀察它們。?相機(jī)拍攝的圖像可以通過計(jì)算機(jī)進(jìn)行分析,計(jì)算機(jī)經(jīng)過編程可以檢測缺陷和瑕疵,例如裂紋。?在檢驗(yàn)工位?60?之后的選擇工位?62?例如可以包括一個(gè)由前一工位的圖像分析計(jì)算機(jī)控制的電磁閥操作的偏轉(zhuǎn)器,該偏轉(zhuǎn)器將有缺陷的基板從傳送帶上移到廢料容器中。?只有沒有缺陷的基板才能進(jìn)入下一個(gè)工位,在那里可以根據(jù)需要進(jìn)行加熱,并相對于壓力輥和要轉(zhuǎn)移到其上的圖案進(jìn)行正確對齊。?通過合適的對接件,可以實(shí)現(xiàn)基材相對于壓入面的正確定位。通過根據(jù)圖案與壓印線的距離和網(wǎng)狀物的速度,加速或減速基材向壓印線的進(jìn)給,可以實(shí)現(xiàn)對網(wǎng)狀物上來圖案的正確套準(zhǔn)。
127、在一個(gè)實(shí)施例中,基材驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)?90?配置并適于以至少?0.1?米/秒?(m/s)、至少0.5?m/s?或至少?0.7?m/s?的線速度將基板送至壓印線40。?通常情況下,基材在壓合處的線速度不會(huì)超過?2.0?米/秒,一般在?0.2?米/秒至?1.5?米/秒、0.4?米/秒至?1.0?米/秒和0.5?米/秒至?0.8?米/秒的范圍內(nèi)。
128、加熱和校準(zhǔn)工位
129、顧名思義,這個(gè)工位有兩個(gè)不同的功能。
130、首先,它的作用是在需要時(shí)將基材?10?加熱到一定溫度,以便在基材?10?與基材10?在壓印線處接觸時(shí)激活基材?14?所承載的粘合劑。
131、合適的溫度取決于組合物和粘合劑的性質(zhì),ep?3491900?中有更詳細(xì)的討論。
132、根據(jù)要達(dá)到的溫度,加熱工位(用虛線框?52?表示)可以采取不同的形式,可以是傳導(dǎo)(基板與由循環(huán)流體、電阻加熱元件或?ptc?電阻器加熱的熱板接觸)、對流(將加熱的氣體吹到基板上)或輻射(紅外線或微波,取決于基板的性質(zhì))。
133、當(dāng)采用傳導(dǎo)加熱時(shí),可能需要進(jìn)一步增加一些元件,使基板與加熱板保持緊密接觸(例如,輥與加熱板形成接觸),?以加速基板加熱到所需溫度。
134、雖然可以在輥壓口上游進(jìn)行加熱,以便分別加熱至少其中一個(gè)網(wǎng)狀物和基材表面,使它們彼此接觸,但也可以在輥壓口處進(jìn)行加熱,或者同時(shí)在輥壓口處進(jìn)行加熱。
135、例如,在這樣的實(shí)施例中,壓力輥?22?還可以用作加熱輥。
136、第?14?號(hào)網(wǎng)片由柔性材料制成,可通過各種可能的工藝(例如壓印或鑄造)在其上形成凹槽。
137、這些凹槽的幾何形狀與所需圖案(例如導(dǎo)體)的幾何形狀互補(bǔ),可以填充含有導(dǎo)電材料顆粒(例如銀)和熱激活和/或壓力激活粘合劑的混合物。?如前所述,對于某些類型的相對平坦的導(dǎo)電圖案,例如太陽能電池的背電極和?pcb?接地層的接地層,也可以將該組合物放置在網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的表面上。?就目前情況而言,只需知道該網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)承載的圖案與待應(yīng)用于基材的所需圖案(例如導(dǎo)體圖案)的至少一部分相匹配即可,但感興趣的讀者可在ep3491900中找到有關(guān)材料類型的更多詳細(xì)信息。?可以制造網(wǎng)狀物,可以制造凹槽,以及組合物成分的化學(xué)結(jié)構(gòu)。?需要指出的是,該成分本身不一定具有導(dǎo)電性,但如果需要導(dǎo)電圖案,則燒結(jié)后可以變得導(dǎo)電。
138、此外,雖然本說明書主要涉及旨在導(dǎo)電的圖案的轉(zhuǎn)移,但本發(fā)明不應(yīng)被解釋為僅限于此類圖案。?本發(fā)明可能有利于轉(zhuǎn)移任何類型的圖案(例如,具有導(dǎo)電性以外的功能或裝飾性),?對于保持轉(zhuǎn)移圖案的尺寸在嚴(yán)格的尺寸范圍內(nèi)或允許的偏差范圍內(nèi)非常重要。
139、就目前而言,可以簡要指出,該網(wǎng)狀物具有足夠的非彈性,能夠保持凹槽(和圖案)的輪廓以及要從中轉(zhuǎn)移的組合物的形狀。
140、另一方面,網(wǎng)狀物具有足夠的彈性(例如,可拉伸性),?可以通過舞動(dòng)和張緊作用,將攜帶在其上的圖案與基材進(jìn)行配準(zhǔn)。?因此,可變形網(wǎng)狀物(或其一層,通常是由于與基材接觸而形成的一層)的塑料材料包括任何能夠因制造網(wǎng)狀物(例如,壓花)或使用網(wǎng)狀物進(jìn)行轉(zhuǎn)移的設(shè)備的操作條件而改變形狀的聚合物。?此外,可變形塑料網(wǎng)在與基材分離時(shí)會(huì)發(fā)生不可逆變形,因此適合一次性使用,使用后即可丟棄。?適用于此類網(wǎng)狀物(或最外層可變形層)的材料可以是熱塑性聚合物,例如環(huán)烯烴共聚物(coc)、聚丙烯(pp)、聚乙烯(pe)、熱塑性聚氨酯(tpu)及其共聚物等等。
141、舞動(dòng)器還可以起到緩沖作用,直到網(wǎng)絡(luò)達(dá)到恒定速度。
142、由于與卷筒接觸的各種電動(dòng)氣缸的直徑各不相同,因此在它們都能提供相同的線速度之前,它們之間可能會(huì)存在一些慣性。?該網(wǎng)狀物最好具有足夠的柔韌性,能夠貼合基材表面,從而實(shí)現(xiàn)足夠緊密的接觸,以便轉(zhuǎn)移組合物線。?這種能力與至少在構(gòu)成網(wǎng)狀物第一表面/正面的一層中存在熱塑性聚合物有關(guān)。?據(jù)信,通過上述加熱方式,網(wǎng)狀物第一表面的熱塑性層可以軟化到足以與基材表面的形貌基本匹配的程度。?例如,假設(shè)基板具有隨機(jī)或圖案化的紋理表面,例如,具有類似太陽能電池硅基板上的金字塔狀凸起,則薄膜的可塑性,尤其是在加熱時(shí),能夠使熱塑性表面基本填充基板表面。?相鄰的、相對凸起的紋理之間間距相對較淺。
143、需要強(qiáng)調(diào)的是,用于制備尺寸彈性模具(如凹版印刷模具)的熱固性聚合物在正常操作條件下無法實(shí)現(xiàn)這種地形一致性。
144、其他理想的特性也很容易理解,從而使網(wǎng)狀物與裝置所實(shí)施的工藝兼容(例如,耐應(yīng)力、耐熱、導(dǎo)熱或散熱等)以及與其中使用的組合物兼容(例如,耐化學(xué)腐蝕、化學(xué)惰性等),?同時(shí)對溫度和張力的變化做出響應(yīng),從而可以根據(jù)本發(fā)明所教導(dǎo)的方法來調(diào)節(jié)圖案的長度和寬度。
145、壓力輥
146、壓力輥?22?的作用是將網(wǎng)狀物14?壓向基材?10。
147、對壓力輥?22?施加力,以在壓印線?40?處施加壓縮力,力的大小取決于網(wǎng)狀物的性質(zhì)、網(wǎng)狀物中和/或網(wǎng)狀物上承載的成分以及基材,以及圖案的幾何形狀(例如,凹槽的深度和/或橫截面輪廓、圖案的復(fù)雜性等)。
148、網(wǎng)狀物送入壓印線的速度(即網(wǎng)狀物受壓的時(shí)間)和所需的轉(zhuǎn)移質(zhì)量也可能影響施加力的大小。
149、壓力輥可由任何合適的材料制成,例如橡膠或鋼,但涂有一層薄薄的柔性材料,以確保與網(wǎng)狀物的整個(gè)表面區(qū)域良好接觸。?因此,雖然理想情況下可以將壓痕視為網(wǎng)狀物與基材表面之間形成的接觸線,但實(shí)際上,由于壓痕側(cè)面與網(wǎng)狀物背面接觸處存在可壓縮材料,導(dǎo)致壓痕形成一個(gè)沿網(wǎng)狀物寬度方向延伸的接觸區(qū)域。
150、如前所述,在某些實(shí)施例中,當(dāng)加熱不完全是在基材上進(jìn)行,也不在壓印線上游的紙幅上進(jìn)行時(shí),壓力輥?22?還可以用作加熱缸。
151、壓力輥還可以通過電機(jī)驅(qū)動(dòng),從供料輥?16?拉出紙幅。?如圖所示,當(dāng)兩個(gè)壓力輥之間形成壓合時(shí),如果需要,只需驅(qū)動(dòng)其中一個(gè)壓力輥即可。
152、重要的是要確保當(dāng)網(wǎng)狀物14?上的圖案(無論它們位于網(wǎng)的表面之下和/或之上)到達(dá)壓印線?40?時(shí),它們與基材的到達(dá)同步。
153、網(wǎng)頁上的構(gòu)圖圖案間距合適,以便留出空白區(qū)域。?當(dāng)新的基材被定向以便正確地送入壓力輥時(shí),紙卷可能會(huì)通過壓印線40,定向可以在基材加熱時(shí)選擇性地進(jìn)行。?由于網(wǎng)是連續(xù)驅(qū)動(dòng)的,而基材向壓印線?40?的呈現(xiàn)是間歇性的,因此出現(xiàn)了一個(gè)問題,圖案到達(dá)壓印線的時(shí)間可能與壓印線中基材的存在時(shí)間不一致。
154、為了避免這個(gè)問題,可以通過旋轉(zhuǎn)供紙輥?16?或旋轉(zhuǎn)收卷輥?32?來從供紙輥?16拉出紙幅。
155、提供傳感器?70?來檢測當(dāng)網(wǎng)狀物從供料輥?16?上脫離時(shí),特定位置的圖案到達(dá)情況。?如果圖案到達(dá)壓印線?40?的預(yù)期時(shí)間與基材?10?到達(dá)壓印線?40?的下一個(gè)時(shí)間不一致,則舞動(dòng)器?20?的運(yùn)動(dòng)可以改變從供料輥?16?到壓印線?40?的紙幅路徑長度,從而增加或減少感知到的圖案到達(dá)壓印線?40?所需的時(shí)間。?因此,通過根據(jù)傳感器?70?感應(yīng)到圖案的時(shí)間和基材10?送入壓印線40?的時(shí)間來控制舞動(dòng)器?20,可以確保圖案和基板之間的正確對準(zhǔn)。?如果基板相對表面上的圖案都與基板正確對齊,那么它們彼此之間也將正確對齊。
156、雖然任何合適的對準(zhǔn)裝置?50?都可用于本發(fā)明,但申請人已構(gòu)思出各種方法,用于及時(shí)地將基材送入壓力輥,同時(shí)確保其與相應(yīng)的圖案正確對準(zhǔn)。
157、除了?ep?3491902?中公開的裝置外,感興趣的讀者還可以在?ep?4049308?和?ep4320059?中找到替代方法和實(shí)現(xiàn)這些裝置的裝置,所有這些裝置都能夠用作對準(zhǔn)裝置?50。在某些情況下,如果在圖案轉(zhuǎn)移之前或之后觀察到圖案方向的傾斜,則使用能夠傾斜基板以匹配網(wǎng)狀圖案方向的對準(zhǔn)裝置可能是有利的。
158、冷卻工位
159、在所示實(shí)施例中,網(wǎng)狀物14?在經(jīng)過壓印線?40?后通過傳導(dǎo)進(jìn)行冷卻。一條無盡的冷卻帶?24?經(jīng)過第一和第二輥?26,并由惰輥?28?保持張力。這樣,冷卻帶?24?在從壓力輥22?到第二輥?26?的整個(gè)運(yùn)行過程中,始終與網(wǎng)狀物背面保持熱接觸。
160、冷卻帶?24?在其剩余長度上暴露于環(huán)境空氣中,可能不需要額外的冷卻。如果需要冷卻皮帶?24,可以使用鼓風(fēng)機(jī)。?設(shè)有向其吹氣裝置,該空氣最好(但不一定)是冷卻的。作為一種替代方案,可以省略冷卻帶?24,直接向輥筒的背面吹風(fēng),從而冷卻輥筒下游的網(wǎng)片。
161、如有必要,可通過制冷回路等方式將空氣冷卻至不超過?20°c?的溫度。此外,冷卻帶可替換為任何合適的散熱片,以將溫度降低至所需的溫度范圍。
162、在通過冷卻工位?23?時(shí),網(wǎng)狀物?14?仍然附著在基材?10?上,但隨著網(wǎng)狀物冷卻,組合物與網(wǎng)狀物的粘附力降低和/或相反,組合物與基材的粘附力增加,這種對各自源表面和目標(biāo)表面的相對粘附力的變化有助于在需要時(shí)將網(wǎng)狀物從基材上分離。
163、因此,冷卻工位要達(dá)到或保持的溫度可能取決于網(wǎng)絡(luò)、基材以及它們可能共同承受的未來作用。?當(dāng)冷卻工位是散熱器時(shí),可以對其進(jìn)行有利的控制,使從冷卻工位出來的紙卷和基板的溫度適應(yīng)下游工位要執(zhí)行的功能。
164、由于對網(wǎng)狀物?14?和/或其下基材?10?進(jìn)行主動(dòng)冷卻旨在促進(jìn)網(wǎng)狀物與基材的適當(dāng)分離,從而使可轉(zhuǎn)移組合物的圖案能夠充分地附著在其上,因此,如果不需要分離網(wǎng)狀物,或者至少不需要立即分離,則冷卻可能是多余的。
165、分離裝置
166、如圖所示裝置的示例性實(shí)施例中所示的分離裝置?30?包括一塊金屬板,該金屬板被彎曲或制造成形成銳角,例如刀片上的角度。網(wǎng)狀物在返回收卷輥?32?的路徑上,會(huì)彎曲到分離裝置外側(cè)所定義的銳利邊緣上。此操作將網(wǎng)狀物?14?從基材?10?上剝離,使組合物粘附在基材?10?上。熟練的人員很容易理解,當(dāng)需要分離時(shí),其他分離裝置(例如,使紙幅旋轉(zhuǎn)向收卷輥的裝置)也能令人滿意地實(shí)現(xiàn)類似的紙幅剝離,桿或旋轉(zhuǎn)圓筒只是此類替代裝置的例子。
167、在一個(gè)實(shí)施例中,可能需要將網(wǎng)狀物?14?保持附著在基材10?上,作為對圖案的臨時(shí)保護(hù),直到以后進(jìn)行分離(可選地在不同的設(shè)施和/或由不同的實(shí)體進(jìn)行),?或者作為對圖案的永久保護(hù)層。
168、在這種情況下,網(wǎng)狀物14無需通過收卷輥32進(jìn)行收卷,只需拉伸即可。?使用任何適合此目的的裝置從供應(yīng)卷?16?中取出。?此外,當(dāng)網(wǎng)片與基材的分離被延遲或省略時(shí),可能不需要在壓印線?40?下游冷卻網(wǎng)狀物14,也不需要將其冷卻到為便于分離而選擇的溫度。?此外,在這種情況下,特別是當(dāng)基材作為單獨(dú)的單元送入壓力輥時(shí),該裝置可以包括切割裝置,用于切割留在基材上未粘合邊緣的網(wǎng)狀物,該邊緣位于任意所需數(shù)量的相鄰基材之間。?切割裝置(圖中未顯示)可以將每個(gè)基板與下一個(gè)基板分離,也可以將兩塊或多塊基板與后續(xù)的基板組分離。
169、本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例如圖?2?和圖?3?所示。
170、為了清晰起見,圖?1?中已經(jīng)討論過的許多組件,例如基板供應(yīng)裝置(例如?12)、基材驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(例如?90,圖中未顯示傳送帶)和對準(zhǔn)工位(例如?50),?以及位于壓印線上游的可選基板檢測工位(例如?60)、選擇工位(例如?62)、速度調(diào)節(jié)工位(例如?64)和加熱工位(例如?52),?均被省略,特定設(shè)備(或方法)可能需要的任何其他預(yù)轉(zhuǎn)移工位也被省略。?同樣地,對于可能位于壓印線?(40)?下游甚至分離工位?(例如?30)?下游的轉(zhuǎn)運(yùn)后工位點(diǎn),如果存在的話。
171、圖?2?和圖?3?僅示意性地顯示了圖?1?所示裝置中為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明而進(jìn)行修改的部分。
172、圖?2?和圖?3?中的網(wǎng)狀物?100?由電動(dòng)供料輥(圖中未示出,但與圖?1?中的輥?16等效,如前所述,該輥?16?也可作為網(wǎng)狀物引導(dǎo)放卷機(jī))沿箭頭?130?所示的方向拉出,首先經(jīng)過位于兩個(gè)引導(dǎo)輥?104?和?106?之間的舞動(dòng)器102。?接下來,網(wǎng)狀物?100?經(jīng)過另一個(gè)引導(dǎo)輥?108,穿過由電動(dòng)張緊輥?110?和橡膠輥?112?形成的張緊槽,橡膠輥?112?以恒定的壓力壓在網(wǎng)狀物上,以確保張緊輥?110?和網(wǎng)狀物?100?之間不會(huì)發(fā)生滑動(dòng)。?在到達(dá)壓印線輥116?之前,網(wǎng)狀物會(huì)同時(shí)和/或隨后通過網(wǎng)狀物加熱器(例如,通過繞過加熱輥?114)進(jìn)行加熱,在壓印線輥116?處,圖案會(huì)從網(wǎng)狀物?100?轉(zhuǎn)移到基材上。?如圖所示,當(dāng)兩個(gè)壓力輥之間形成壓接時(shí)(例如,壓印線40),?壓力輥116(相當(dāng)于圖1中的壓力輥22)或至少一個(gè)壓力輥(例如,上壓力輥)可由電機(jī)驅(qū)動(dòng)以驅(qū)動(dòng)網(wǎng)狀物100。
173、圖?1?中的舞動(dòng)器?102?相當(dāng)于圖?1?中的舞動(dòng)器20,其作用是在系統(tǒng)初始加速和/或最終減速期間,當(dāng)不同滾筒的線速度尚未彼此匹配時(shí),起到緩沖作用。
174、這位舞動(dòng)器還與一臺(tái)118號(hào)相機(jī)有關(guān)。?這是通過加速或減速基板的進(jìn)給速度來確保圖案與基板正確對準(zhǔn)的。?可以通過傳感器(例如光學(xué)傳感器)在壓痕上游確定基板相對于壓痕的位置,這些傳感器可以監(jiān)測基板的邊緣、基板上的基準(zhǔn)標(biāo)記或兩者。?此類傳感器可能是基板對準(zhǔn)裝置的一部分(如圖?1?中的工位?50?所示)。
175、提供控制系統(tǒng)?120?來補(bǔ)償轉(zhuǎn)移到基板上的圖案尺寸誤差。
176、如圖?2?中的虛線所示,控制系統(tǒng)通過電連接接收來自相機(jī)?122?和與壓力輥?116相關(guān)的軸編碼器的數(shù)據(jù)信號(hào),并發(fā)送控制信號(hào)來設(shè)置電動(dòng)張緊輥?110?的速度和/或扭矩以及加熱輥?114?的溫度,或者,此外,還可以設(shè)置沿網(wǎng)狀物在壓力輥上游路徑上或在壓力輥內(nèi)的任何其他加熱裝置的溫度。?例如,引導(dǎo)輥?106?和壓印線輥?116?之間的一段網(wǎng)狀物100,或者張緊輥?112?和加熱輥?114?之間的一段網(wǎng)狀物?100,可以通過對流或輻射(例如,使用紅外加熱器)進(jìn)行加熱。
177、如圖?2?所示,如圖?3?所示,可以放置兩個(gè)相機(jī)?122?來觀察網(wǎng)狀物?100?在經(jīng)過壓印線輥116?時(shí)兩側(cè)的基準(zhǔn)點(diǎn)。
178、此外,或者也可以將相機(jī)放置在圖案轉(zhuǎn)移到基底之后,以便查看圖案上的基準(zhǔn)點(diǎn)。通過檢測基準(zhǔn)點(diǎn)的位置,控制系統(tǒng)?120?可以確定基準(zhǔn)點(diǎn)寬度間距與所需尺寸的偏差。?此外,通過與壓印線輥116?相關(guān)的軸編碼器測量網(wǎng)狀物?100?在連續(xù)基準(zhǔn)點(diǎn)感應(yīng)之間的運(yùn)動(dòng),控制系統(tǒng)?120?可以確定圖案長度與所需尺寸的偏差。
179、控制系統(tǒng)?120?可通過改變壓力輥上游加熱裝置(例如加熱輥?114)提供的溫度來控制轉(zhuǎn)移圖案寬度的變化,進(jìn)而改變網(wǎng)狀物?100?的溫度,以及網(wǎng)狀物?100(及其上的圖案)在被壓印線輥116?壓緊到基材上時(shí)的鋪展程度。
180、通過控制系統(tǒng)?120,可以改變緊接壓印線輥?116?上游的網(wǎng)狀物?100?的張力,從而改變轉(zhuǎn)移圖案的長度。通過改變驅(qū)動(dòng)壓印線輥116(如果壓印線是一對,則為其中一個(gè))的電機(jī)與張緊輥?110?之間的相對速度和/或扭矩,可以實(shí)現(xiàn)張力控制。
181、所謂“緊接”,是指雖然不一定是瞬間發(fā)生或在精確的先前位置發(fā)生,但控制系統(tǒng)會(huì)在網(wǎng)狀物進(jìn)入之前完成更改。?進(jìn)行微調(diào)的時(shí)間和/或地點(diǎn)要足夠接近該事件,以便控制效果能夠持續(xù)到足以達(dá)到微調(diào)時(shí)所期望的修改程度。
182、需要施加到網(wǎng)狀物上的張力程度,除其他因素外,取決于具體的網(wǎng)狀物、要轉(zhuǎn)移的圖案的尺寸及其與標(biāo)稱值和容許值的偏差,以及網(wǎng)狀物的溫度(例如,在?20°c?到?80°c?之間)。
183、圖案尺寸和/或位置的可容忍偏差可能取決于要轉(zhuǎn)移的圖案和/或所考慮的參數(shù)。
184、例如,與理想尺寸(例如圖案的長度和/或?qū)挾取⑥D(zhuǎn)移區(qū)域和/或非轉(zhuǎn)移區(qū)域)或理想位置(例如表征圖案、基板或其各自質(zhì)心的點(diǎn))的偏差,絕對值可以達(dá)到?100?μm,?50?μm,25?μm,?10?μm,?5?μm,?或?1?μm,。
185、或者,或者說,這種偏差可以相對于參考數(shù)據(jù)所尋求的值而言,例如在理想尺寸和/或位置的?1%?以內(nèi),或者在相關(guān)標(biāo)稱值(例如,兩點(diǎn)之間的距離或點(diǎn)的坐標(biāo))的?0.5%?以內(nèi)、0.25%?以內(nèi)、0.1%?以內(nèi)或?0.05%?以內(nèi)。
186、無論理想值的公差范圍如何,本裝置都能校正任何尺寸上高達(dá)可接受變化上限值兩倍的偏差,在某些實(shí)施例中,該裝置能夠校正高達(dá)?5?倍、10?倍或?20?倍的偏差。
187、例如,如果圖案的寬度與理想寬度值相差不超過?10?皮米,長度與理想長度值相差不超過?50?皮米,以使其在預(yù)期基材上保持令人滿意的效果,則該裝置適于將網(wǎng)狀物上圖案的寬度和/或長度修改為與各自理想值相差不超過?200?皮米和/或?1000?皮米。?考慮到圖案的傾斜角度,在某些情況下,本裝置可以校正圖案相對于幅面的取向偏差,其?α?角可達(dá)?2°。?在一個(gè)實(shí)施例中,該裝置可用于將圖案與其各自的基板正確對齊,使圖案與基板的夾角為?1.5°?或更小、1°?或更小,或?0.5°?或更小。?理想情況下,在網(wǎng)狀物(或轉(zhuǎn)移后的基材)上觀察到的圖案方向與這些圖案在這些各自支撐件上的預(yù)期“參考”方向之間,幾乎沒有偏差(??<?0.03°)。
188、為了對稱起見,圖中所示的裝置有兩個(gè)控制器?120,但實(shí)際上,如果該裝置設(shè)計(jì)為基于從不同攝像頭接收的數(shù)據(jù),則可以使用單個(gè)控制器來控制兩個(gè)網(wǎng)。
189、將兩種不同蛛網(wǎng)的圖案轉(zhuǎn)移到同一基質(zhì)的相對兩側(cè)(例如,在同一咬合處或兩個(gè)不同的咬合處)。
190、在一個(gè)實(shí)施例中,相機(jī)?122?讀取的數(shù)據(jù)可以是編碼數(shù)據(jù),該編碼數(shù)據(jù)是在制造時(shí)寫入到網(wǎng)狀物上的,指示在制造時(shí)測量的圖案的長度和寬度,或者指示為在轉(zhuǎn)移到基材后獲得所需的圖案一致尺寸而施加到網(wǎng)狀物上的熱量和張力的最佳設(shè)置。
191、此類數(shù)據(jù)只需輸入到網(wǎng)絡(luò)的一個(gè)側(cè)面,每個(gè)網(wǎng)絡(luò)只需一臺(tái)相機(jī)即可。
192、雖然熱量是決定轉(zhuǎn)移過程中圖案加寬的主要參數(shù),而張力是決定(例如,導(dǎo)電)圖案加長的主要參數(shù),但這兩個(gè)調(diào)整并非彼此獨(dú)立,因?yàn)榧訜峥赡軙?huì)拉長圖案,而張力可能會(huì)使圖案變窄。
193、因此,控制器在設(shè)定加熱程度和網(wǎng)狀物張力時(shí),必須同時(shí)考慮測量的長度和寬度。
194、控制器可能包含一個(gè)查找表,該查找表將根據(jù)測量得到的網(wǎng)狀物上圖案的寬度和長度指示最佳加熱和張力,或者可以使用遞歸算法來得出最佳設(shè)置。
195、應(yīng)該理解的是,在加工過程中改變織物加熱和張力的反饋回路無法足夠迅速地做出反應(yīng),以糾正從一個(gè)圖案到下一個(gè)圖案的尺寸變化。
196、然而,通過對網(wǎng)狀物起始處的讀數(shù),控制器可以得出網(wǎng)狀物剩余部分的加熱和張力設(shè)置;通過對網(wǎng)狀物圖案轉(zhuǎn)移過程中的讀數(shù),可以修改設(shè)置,以補(bǔ)償圖案測量長度和寬度的緩慢長期漂移。
197、方法概述
198、前面已針對適用于實(shí)施該方法的裝置進(jìn)行了說明,現(xiàn)在將針對圖?7?進(jìn)行說明。
199、必須強(qiáng)調(diào)的是,雖然這些步驟已被賦予數(shù)值,但并不需要按照順序編號(hào)執(zhí)行。
200、通常,在圖中標(biāo)記為?so1?的第一步中,至少有一張帶有圖案和要轉(zhuǎn)移到的基板的網(wǎng)被推向壓力輥,基板一次送入一個(gè)。
201、理想情況下,在進(jìn)入基材之前,應(yīng)預(yù)先將紙卷和基材對齊。
202、進(jìn)入輥壓區(qū)時(shí),通過網(wǎng)狀物引導(dǎo)系統(tǒng)確定網(wǎng)狀物側(cè)邊相對于輥壓區(qū)的位置,并通過基材對準(zhǔn)裝置確定基材的位置。
203、如設(shè)備說明中所述,此步驟可能包括對基板的檢查、選擇/剔除和/或加熱。此外,如果在后期階段檢測到圖案及其基底的對準(zhǔn)出現(xiàn)偏差,則可以修改基底的進(jìn)給方式,作為逐步糾正這種不匹配的措施的一部分。
204、例如,可以根據(jù)需要加速或減速基材,直到網(wǎng)狀物和基材的速度再次匹配;和/或可以在對齊過程中傾斜基材,以匹配網(wǎng)狀物上圖案方向的傾斜。
205、在步驟?s02?中,圖案的尺寸(長度和/或?qū)挾龋┦窃诳椢镞M(jìn)入軋輥之前在織物上確定的。此步驟包括數(shù)據(jù)采集,可通過任何合適的傳感器進(jìn)行,該傳感器能夠檢測圖案元素或網(wǎng)面上除圖案區(qū)域外的其他標(biāo)記,然后分析采集到的數(shù)據(jù),以便據(jù)此采取相應(yīng)的行動(dòng)。
206、傳感器和標(biāo)記必須相互兼容,通常光學(xué)傳感器用于光學(xué)可檢測標(biāo)記。
207、此步驟還可以用于讀取制造過程中編碼在網(wǎng)狀物中的數(shù)據(jù),此類編碼數(shù)據(jù)設(shè)置了每個(gè)特定網(wǎng)狀物的推薦張力和/或溫度,或者還可以將兩種方法結(jié)合起來,即在制造階段初始設(shè)置推薦值,以及從網(wǎng)狀物送入壓印線期間實(shí)際進(jìn)行的測量中得出的值。?這一步驟可以部分或全部省略,并由稍后將詳細(xì)介紹的步驟?s05?代替,其中一旦圖案轉(zhuǎn)移到基板上,就可以進(jìn)行類似的數(shù)據(jù)采集和分析(簡稱為測量)。
208、假設(shè)與圖案相關(guān)的測量是在步驟?s02?中對幅材進(jìn)行的,則將測量的長度和/或?qū)挾扰c理想值(參考數(shù)據(jù))進(jìn)行比較,參見步驟?s06,如果與理想值存在偏差,則可以相應(yīng)地調(diào)整幅材進(jìn)入壓印線之前的張力和/或溫度(參見步驟?s03)。
209、即使測量值與期望值之間的偏差在容差范圍內(nèi),也可以進(jìn)行此類調(diào)整(例如,為了避免或限制未來偏離該范圍)。?如前文圖?5?的說明中所述,雖然為簡便起見,步驟僅涉及長度和/或?qū)挾鹊臏y量(或與相應(yīng)參考值的比較),?但在某些情況下,可能需要評(píng)估圖案的其他特征,例如其質(zhì)心位置(圖?5?中的?e?點(diǎn))以及圖案的相對位置。?對于網(wǎng)的邊緣(特別是當(dāng)需要避免邊緣以便轉(zhuǎn)移到基材的適當(dāng)區(qū)域時(shí)),?以及圖案相對于參考圖案的參考方向的傾斜(如果有的話)。?此外,雖然步驟?s02?指的是測量表征第一幅紙上圖案的尺寸(例如,長度、寬度、質(zhì)心位置、圖案傾斜度、相對于紙邊緣或側(cè)邊的位置等),?但后續(xù)步驟?s03(根據(jù)所述測量結(jié)果設(shè)置紙的張力和/或溫度)還可以考慮相對于圖案將轉(zhuǎn)移到的基材進(jìn)行的測量,以及(如果相關(guān))相對于第二幅紙上承載的、由于轉(zhuǎn)移到基材另一側(cè)而進(jìn)行的第二圖案進(jìn)行的類似測量。
210、對于兩個(gè)網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),由于基板只能相對于兩個(gè)網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)對齊一次,因此可以有利地將其設(shè)置在兩個(gè)圖案之間的中間位置(如果每個(gè)圖案都相對偏離預(yù)期位置),?這樣每個(gè)圖案相對于基板的絕對偏差就可以減半。
211、幅面張力和/或溫度(如與?s03?相關(guān))的設(shè)定最初可以憑經(jīng)驗(yàn)或根據(jù)幅面制造商的輸入進(jìn)行,然而,這種主要的前饋控制通常不足以考慮到圖案尺寸的持續(xù)變化和轉(zhuǎn)移精度的逐漸提高。
212、對初始設(shè)置進(jìn)行以下校正,是基于對圖案在網(wǎng)狀物上(s02)或從網(wǎng)狀物轉(zhuǎn)移到壓印線處的相應(yīng)基材后(s04)的測量結(jié)果的反饋機(jī)制,例如,在圖案轉(zhuǎn)移到基材上時(shí)(s05)測量圖案的實(shí)際長度和/或?qū)挾龋〝?shù)據(jù)采集和分析)。?如果需要,可以在轉(zhuǎn)移之前(s02)和之后(s05)?進(jìn)行圖案測量。?如?s02?所述,表征基板第一側(cè)圖案的尺寸(例如長度、寬度、質(zhì)心位置、圖案傾斜度、相對于基板邊緣或側(cè)邊的位置等)不僅可以與相應(yīng)的參考值進(jìn)行比較,還可以與相對于圖案將轉(zhuǎn)移到的基板和/或基板第二側(cè)的圖案測量的類似值進(jìn)行比較。
213、如果對網(wǎng)狀張力和/或溫度的控制是根據(jù)轉(zhuǎn)移后在基材?s05?上進(jìn)行的測量結(jié)果進(jìn)行的,則將測量的長度和/或?qū)挾鹊扰c步驟?s06?中的參考數(shù)據(jù)進(jìn)行比較,如果與參考數(shù)據(jù)存在偏差,則可以相應(yīng)地調(diào)整網(wǎng)狀物進(jìn)入壓印線之前的張力和/或溫度(參見步驟?s03)。
214、如果對表征網(wǎng)狀圖案(在?s02?處進(jìn)行)和/或基板(在?s05?處進(jìn)行)上圖案的尺寸測量,與指示基板位置的測量結(jié)果進(jìn)行比較,結(jié)果表明,雖然圖案符合預(yù)期值(例如,間距),但實(shí)際測量結(jié)果與預(yù)期值存在偏差。(例如,由于步驟?s03),?基板可能需要相對于圖案前進(jìn)或后退,然后在后續(xù)步驟?s01?中進(jìn)行糾正操作,還可以包括減速或加速壓痕上游的基板,以確保圖案與基板正確對齊。
215、如前所述,如果與預(yù)期輸出的偏差與圖案相對于幅面或基材的相對?y?位置和/或方向有關(guān)(如果未采取糾正措施),?則步驟?s01(或在發(fā)現(xiàn)問題后的步驟)可以替代地(或額外地)包括橫向移位和/或傾斜基材,使其以所需的?y?位置或傾斜角進(jìn)入壓印線,該位置或傾斜角與幅面上圖案方向的相應(yīng)位置或傾斜角基本匹配。
216、總之,在本方法中,在進(jìn)入輥隙之前可以采取的預(yù)防或糾正措施,除了a]?將紙幅和基材送入輥隙(s01)和b]?控制紙幅的張力和/或溫度(s03)的基本步驟外,還可以包括以下一項(xiàng)或多項(xiàng):a)?調(diào)整紙幅的橫向位置(例如,通過操作紙幅引導(dǎo)系統(tǒng));b)?調(diào)整基材的橫向位置(例如,通過操作基材對準(zhǔn)系統(tǒng),沿其長度方向均勻地改變基材的y軸位置);c)?調(diào)整基材前緣的位置(例如,通過改變其速度);以及d)?調(diào)整基材的方向(例如,通過操作基材對準(zhǔn)系統(tǒng),沿其長度方向差異地改變基材的y軸位置)。
217、上述每一項(xiàng)潛在(例如,響應(yīng))措施不一定能完全消除與所需參數(shù)的有害偏差,只要足以減少這種偏差,使其在可容忍的范圍內(nèi)與所尋求的值相差即可。
218、在某些情況下,可能需要將兩種或多種糾正措施結(jié)合起來,以使偏差在可接受的范圍內(nèi)。在這種情況下,并非所有結(jié)合起來的措施都需要單獨(dú)有效,只要它們的聯(lián)合作用能夠令人滿意地減少偏差即可。
219、示范性適用性
220、上述裝置及相關(guān)方法所實(shí)現(xiàn)的轉(zhuǎn)移工藝適用于剛性或柔性、平面或曲面基材,具體基材的性質(zhì)可根據(jù)需要選擇。根據(jù)預(yù)期制造的產(chǎn)品。
221、用于轉(zhuǎn)移功能圖案的基板,例如用于制造電子元件的基板,可以是任何適用于制備印刷電路板?(pcb)、集成電路?(ic)、射頻識(shí)別?(rfid)?標(biāo)簽、液晶顯示器?(lcd)、波導(dǎo)、薄膜器件和光伏(太陽能)電池等物品的基板,僅舉幾例。
222、對于相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)人員而言,此類基材是已知的,無需在此詳細(xì)說明。用于轉(zhuǎn)移裝飾圖案的基材限制更少,只要符合本教導(dǎo)所述的裝置和方法即可。
223、以適用于制造太陽能電池的襯底為例,它們可能包括單結(jié)和多結(jié)、剛性晶片和柔性薄膜,通常由半導(dǎo)體材料制成,包括有機(jī)半導(dǎo)體和無機(jī)半導(dǎo)體,例如硅(晶體或非晶體)、砷化鎵(例如,在單結(jié)gaas電池中)、碲化鎘(cdte)、硒化銅銦(cuinse)、鈣鈦礦材料(具有abx3式晶體結(jié)構(gòu),例如氧化鈣鈦(catio3))和硒化銅銦鎵(cigs)等等,僅舉幾例,某些材料在特定的光伏電池中還會(huì)進(jìn)行額外的摻雜或鈍化。
224、對于薄膜而言,此類襯底的厚度可以低至幾納米(nm)到幾十微米,其厚度與薄晶片(例如,厚度約為?25?μm)重疊,更常見的晶片不超過?1?毫米,并且優(yōu)選薄于?500?μm?或250?μm。顯而易見,上述某些基材雖然是剛性的,但相對而言卻很脆弱易碎,這使得任何確保圖案正確轉(zhuǎn)移而不破壞基材的裝置和方法都面臨挑戰(zhàn)。
225、除了上述權(quán)利要求中所述的公開特征外,以下條款還列出了被認(rèn)為具有創(chuàng)造性的特征,以便為最終提交一項(xiàng)或多項(xiàng)分案專利申請?zhí)峁┕降幕A(chǔ)。
226、條款
227、1.?一種確保由可變形塑料材料的網(wǎng)狀物承載的圖案在將所述圖案在轉(zhuǎn)移壓印線處轉(zhuǎn)移到基材后符合所需長度和/或?qū)挾鹊姆椒ǎ鲛D(zhuǎn)移壓印線包括可旋轉(zhuǎn)的壓印線輥,并且在所述轉(zhuǎn)移壓印線處所述網(wǎng)狀物和所述基材相互壓靠,所述方法包括:a)?收集指示(i)在將所述圖案轉(zhuǎn)移到所述基材之前在所述網(wǎng)狀物上的和/或(ii)在將所述圖案轉(zhuǎn)移到所述基材之后在所述基材上的圖案長度和/或?qū)挾戎兄辽僖粋€(gè)長度和/或?qū)挾鹊臄?shù)據(jù),以及
228、?b)根據(jù)收集的數(shù)據(jù),控制所述網(wǎng)狀物的在所述壓印線的上游或在所述壓印線處的溫度和張力中的至少一個(gè)。
229、2.?如條款1所述的方法,其中所述轉(zhuǎn)移壓印線限定在可旋轉(zhuǎn)的壓印線輥和固定的背襯支撐件之間。
230、3.?如條款1所述的方法,其中,所述轉(zhuǎn)移壓印線限定在壓印線輥和可反向旋轉(zhuǎn)的第二壓印線輥之間。
231、4.?如條款1至條款3中任何一條款所述的方法,其中,通過控制單元控制所述網(wǎng)狀物的溫度和/或張力,所述控制單元用于響應(yīng)于收集的關(guān)于所述圖案的長度和寬度的數(shù)據(jù)來操作網(wǎng)狀物加熱器和網(wǎng)狀物張緊器中的至少一個(gè)。
232、5.?如條款1至條款4中任何一條款所述的方法,其中指示所述圖案的長度和/或?qū)挾鹊臄?shù)據(jù)由沿著網(wǎng)狀物在所述壓印線的上游或下游設(shè)置的至少一個(gè)傳感器收集。
233、6.?如條款5?所述的方法,其中所述至少一個(gè)傳感器中的一個(gè)是光學(xué)傳感器。
234、7.?如條款5?或條款6所述的方法,其中指示所述圖案的長度和/或?qū)挾鹊臄?shù)據(jù)來源于所述圖案的元素所述或每個(gè)傳感器的檢測。
235、8.?如條款5至條款7?中任何一條款所述的方法,其中指示所述圖案的長度和/或?qū)挾鹊臄?shù)據(jù)來源于與所述圖案不同的基準(zhǔn)標(biāo)記的所述或每個(gè)傳感器的檢測。
236、9.?如條款5?至條款8中任何一條款所述的方法,所述方法還包括設(shè)置與壓印線輥相關(guān)聯(lián)的軸編碼器,所述編碼器能夠測量網(wǎng)狀物和基材通過壓印線的運(yùn)動(dòng),通過光學(xué)傳感器檢測到在連續(xù)特定標(biāo)記的檢測之間所述網(wǎng)狀物的通過所述壓印線的長度指示所述網(wǎng)狀物或所述基材上的所述圖案的長度。
237、10.如條款?1?至條款9?中任一條款的方法,?其中在制造所述網(wǎng)狀物期間測量所述圖案的長度和/或?qū)挾??并將數(shù)據(jù)放置在所述網(wǎng)狀物上,以指示在將所述圖案轉(zhuǎn)移到所述基材期間所述網(wǎng)狀物的最佳溫度和張力,并且其中在將所述圖案轉(zhuǎn)移到所述基材期間,根據(jù)從所述網(wǎng)狀物讀取的數(shù)據(jù)控制所述網(wǎng)狀物的在所述壓印線的上游或在所述壓印線處的溫度和張力中的至少一個(gè)。
238、11.如條款1?至條款10中任一條款所述的方法,其中通過改變驅(qū)動(dòng)兩個(gè)間隔的輥的電機(jī)的速度或扭矩來控制所述網(wǎng)狀物中的張力,所述兩個(gè)間隔的輥用于推進(jìn)所述網(wǎng)狀物。
239、12.?如條款1?至條款11中任一條款所述的方法,其中,所述基板由基板供應(yīng)裝置和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)送入至所述壓印線,所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于將所述基材輸送到所述壓印線,其中所述基板在進(jìn)入到所述壓印線之前進(jìn)行對齊,所述方法可選地包括在所述進(jìn)入之前以下中的一項(xiàng)或多項(xiàng):a)?針對缺陷來檢查基板;b)?選擇基本無缺陷的基板;c)?改變基板的速度(例如,在有缺陷的基板在先前的選擇步驟處被拋棄的情況下,通過加速);以及?d)?加熱基板。
240、13.?如條款12所述的方法,其中所述基板的對齊包括設(shè)置所述基板相對于所述壓印線的至少?y?位置和/或旋轉(zhuǎn)所述基板,所述對齊可選性地通過橫向擋塊進(jìn)行。
241、14.?如條款12或條款13?所述的方法,其中,所述基材在進(jìn)入到所述壓印線之前被加速或減速,以在進(jìn)入到所述壓印線時(shí)與所述圖案對齊。
242、15.?如條款1至條款14?中任一條款所述的方法,還包括在進(jìn)入到所述壓印線之前橫向引導(dǎo)所述網(wǎng)狀物。
243、16.?如條款1至條款15?中任一條款所述方法,還包括在將所述圖案轉(zhuǎn)移到所述基材后,在所述壓印線的下游冷卻所述網(wǎng)狀物和/或彼此附接的基材;所述方法可選地包括在一個(gè)或多個(gè)基材之間切開所述網(wǎng)狀物。
244、17.?如條款1?至條款16?中任一條款所述的方法,還包括在將所述圖案轉(zhuǎn)移到搜索基材后將所述網(wǎng)狀物從所述基材上剝離。
245、18.?如條款1至條款17?中任一條款所述的方法,其中所述圖案包括至少一種可轉(zhuǎn)移組合物,所述組合物承載于所述網(wǎng)狀物的第一表面中的凹槽內(nèi)和/或所述網(wǎng)狀物的第一表面上;所述網(wǎng)狀物由一層或多層塑料材料制成,并且至少具有由可變形的熱塑性聚合物制成的第一表面。
246、19.?如條款18?所述的方法,其中,所述或每種可轉(zhuǎn)移的組合物包含一種或多種材料的顆粒,以及可在通過所述壓印線之前或期間通過加熱和/或通過壓力激活的粘合劑。
247、20.?如條款19?所述的方法,其中至少一種可轉(zhuǎn)移的組合物包含由導(dǎo)電材料制成的顆粒。
248、21.?如條款20?所述的方法,所述方法還包括使所述圖案或其包含由導(dǎo)電材料制成的顆粒的部分導(dǎo)電,這個(gè)步驟包括燒結(jié)和/或熔化轉(zhuǎn)移到所述基板的圖案。
249、22.?一種物品,其包括施加在基材上的圖案,其中所述圖案符合所需的長度和/或?qū)挾龋⑶遗c所需長度和/或?qū)挾鹊钠畈怀^?100?微米和/或?1%,所述物品是使用各個(gè)條款和權(quán)利要求中提出的并且基本上如本教導(dǎo)中所述的裝置和/或方法制造的。
250、23.?如條款22?所述的物品,其中所述圖案還符合所述基板上的所需位置,并且與指示所述圖案的點(diǎn)的所需相應(yīng)坐標(biāo)的偏差不超過?100?微米?和/或?1%。
251、24.?如條款22或條款23?所述的物品,其中所述圖案還符合相對于所述基材的所需方向,并且與所述方向的偏差不超過?3?度。
252、應(yīng)當(dāng)理解,本公開的某些特征(為了清晰起見,這些特征是在單獨(dú)的實(shí)施例中描述的)?也可以在單個(gè)實(shí)施例中組合提供。反之,本公開的各種特征?(為簡潔起見,在單一實(shí)施例的背景下描述)也可以單獨(dú)提供,或以任何合適的子組合提供,或根據(jù)需要在本公開的任何其他已描述的實(shí)施例中提供。
253、除非缺少某些要素,否則在各種實(shí)施例中描述的某些特征不應(yīng)被視為這些實(shí)施例的基本特征。雖然本公開已結(jié)合各種具體實(shí)施例進(jìn)行了說明,但這只是為了便于說明而提出的,并且不應(yīng)將這些具體公開的實(shí)施例視為限制性的。
254、根據(jù)申請人在此公開的內(nèi)容,本領(lǐng)域技術(shù)人員將會(huì)想到許多其他替代方案、修改方案和變體方案。因此,本發(fā)明旨在涵蓋所有此類替代方案、修改和變化,并且僅受本公開的條款和權(quán)利要求的范圍以及任何在其含義和等效范圍內(nèi)的變更的約束。
255、在本公開的說明書和權(quán)利要求中,每個(gè)動(dòng)詞“包含”、“包括”和“具有”及其變形形式,用于指示該動(dòng)詞的對象不一定是該動(dòng)詞主體的特征、成員、步驟、組件、元素或部分的完整列舉。盡管如此,本教義的方法還設(shè)想本質(zhì)上包括或由所述過程步驟組成,本教義的裝置也本質(zhì)上包括或由所述裝置組成。
256、本文中使用的單數(shù)形式“一個(gè)”和“這”包括復(fù)數(shù)指代,表示“至少一個(gè)”或“一個(gè)或多個(gè)”,除非上下文另有明確規(guī)定。a?和?b?中至少有一個(gè)可以指?a?或?b,在某些實(shí)施例中,也可以指?a?和?b。
257、本文中,諸如“上”、“下”、“右”、“左”、“底”、“下方”、“降低”、“低”、“頂”、“上方”、“抬高”、“高”、“垂直”、“水平”、“向后”、“向前”、“上游”和“下游”等位置或運(yùn)動(dòng)術(shù)語,以及它們的語法變體,僅用于示例性目的,以說明某些組件的相對位置、放置或位移,指示當(dāng)前示例中的第一組件和第二組件,或同時(shí)進(jìn)行這兩項(xiàng)操作。
258、此類術(shù)語并不一定表示,例如,“底部”組件位于“頂部”組件的下方,因?yàn)榇祟惙较颉⒔M件或兩者都可以翻轉(zhuǎn)、旋轉(zhuǎn)、在空間中移動(dòng)、以對角線方向或位置放置、水平或垂直放置,或進(jìn)行類似修改。
259、除非另有說明,否則在選擇選項(xiàng)列表的最后兩個(gè)成員之間使用“和/或”表示可以選擇列表中的一個(gè)或多個(gè)選項(xiàng)。
260、本文中“示范性”一詞的意思是“作為例子、實(shí)例或例證”。
261、任何被描述為“示例性”的實(shí)施例并不一定意味著優(yōu)于其他實(shí)施例,也不意味著排除采用其他實(shí)施例的特征。
262、如本文所用,除非另有說明,諸如“實(shí)質(zhì)上”、“大約”和“關(guān)于”之類的形容詞,用于修飾本技術(shù)實(shí)施例的特征或特性的條件或關(guān)系,應(yīng)理解為該條件或特性被定義為在實(shí)施例預(yù)期應(yīng)用中可接受的公差范圍內(nèi),或在所執(zhí)行的測量和/或所使用的測量儀器所預(yù)期的變化范圍內(nèi)。當(dāng)“大約”或“大約”出現(xiàn)在數(shù)值前面時(shí),表示誤差范圍為±15%、±10%甚至±5%,在某些情況下,表示精確值。
263、此外,除非另有說明,本公開中使用的術(shù)語(例如數(shù)字),?即使沒有此類形容詞,也應(yīng)解釋為具有可能偏離相關(guān)術(shù)語的精確含義的公差,但能夠使本發(fā)明或其相關(guān)部分按照所述方式運(yùn)行和發(fā)揮作用,并且能夠被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解。
264、除非另有說明,當(dāng)本公開中指出本技術(shù)實(shí)施例的特征的范圍的外邊界時(shí),應(yīng)當(dāng)理解,在該實(shí)施例中,該特征的可能值可以包括所指出的外邊界以及介于所指出的外邊界之間的值。
265、為理解或完成本公開內(nèi)容所必需,本文提及的所有出版物、專利和專利申請,特別是申請人的申請,均以引用的方式完整地并入本文,并在此完整地列出。