本發(fā)明涉及多帶電粒子射束描繪區(qū)域的有效溫度計(jì)算方法、多帶電粒子射束描繪裝置、多帶電粒子射束描繪方法以及程序(或非暫時(shí)地記錄程序的可讀取的記錄介質(zhì))，例如涉及多射束描繪中產(chǎn)生的抗蝕劑熱化的修正方法。
背景技術(shù)：
1、承載半導(dǎo)體器件的微細(xì)化發(fā)展的光刻技術(shù)是半導(dǎo)體制造工藝中生成唯一圖案的極其重要的工藝。近年來，隨著lsi的高集成化，半導(dǎo)體器件所要求的電路線寬逐年微細(xì)化。這里，電子線(電子射束)描繪技術(shù)具有本質(zhì)上優(yōu)異的分辨率，進(jìn)行使用電子射束在晶片等上進(jìn)行描繪的處理。
2、例如，有使用多射束的描繪裝置。與用1根電子射束描繪的情況相比，通過使用多射束，一次能夠照射很多射束，因此能夠大幅提高吞吐量。在該多射束方式的描繪裝置中，例如，使從電子槍放出的電子射束通過具有多個(gè)孔的掩模而形成多射束，分別被進(jìn)行消隱控制、未被遮蔽的各射束在光學(xué)系統(tǒng)中被縮小，由偏轉(zhuǎn)器偏轉(zhuǎn)并照射到試樣上的所希望的位置。
3、在此，在使用電子射束的描繪中，存在如下問題：如果想將照射能的量用更高密度的電子射束在短時(shí)間內(nèi)照射，則產(chǎn)生基板溫度過熱而抗蝕劑靈敏度變化、線寬精度惡化的被稱為抗蝕劑熱化的現(xiàn)象(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。例如，在單射束描繪中，采用了累積一根射束對過去的每個(gè)發(fā)射的溫度上升的影響來決定當(dāng)前的發(fā)射的劑量修正量的方法。但是，在多射束描繪中，由于使用了多個(gè)射束，所以在累積過去的每個(gè)發(fā)射和每個(gè)射束的溫度上升的影響的方法中，計(jì)算量變得龐大。另外，在多射束描繪中，由于多個(gè)射束同時(shí)被發(fā)射，所以需要考慮來自位于同時(shí)被照射的大范圍區(qū)域的其他多個(gè)射束的溫度上升的影響。
4、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
5、專利文獻(xiàn)
6、專利文獻(xiàn)1：日本特表2003-503837號(hào)公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、發(fā)明要解決的技術(shù)問題
2、本發(fā)明的一個(gè)方式提供了一種在多射束描繪中不累積每個(gè)發(fā)射和每個(gè)射束的溫度上升的影響而能夠修正抗蝕劑熱化的裝置和方法。
3、用于解決技術(shù)問題的手段
4、本發(fā)明一個(gè)方式的多帶電粒子射束描繪區(qū)域的有效溫度計(jì)算方法，其特征在于，
5、針對將由多帶電粒子射束照射的試樣的描繪區(qū)域在描繪行進(jìn)方向及與描繪行進(jìn)方向線性獨(dú)立的方向上分割而成的多個(gè)網(wǎng)格區(qū)域的每一個(gè)，計(jì)算對該網(wǎng)格區(qū)域內(nèi)進(jìn)行照射的射束的劑量的代表值作為劑量代表值，
6、通過由供試樣載置的載物臺(tái)的速度、多帶電粒子射束的試樣的面上的射束陣列區(qū)域的描繪行進(jìn)方向的尺寸所決定的內(nèi)核與劑量代表值的卷積處理，分別計(jì)算并輸出射束照射引起的熱對多個(gè)網(wǎng)格區(qū)域的每一個(gè)賦予的上升溫度的代表值作為多個(gè)網(wǎng)格區(qū)域各自的有效溫度。
7、本發(fā)明一個(gè)方式的多帶電粒子射束描繪方法，
8、使用利用由上述的有效溫度計(jì)算方法求出的有效溫度計(jì)算出的修正量對試樣描繪圖案，
9、利用多個(gè)網(wǎng)格區(qū)域的每一個(gè)中的有效溫度，計(jì)算出對多帶電粒子射束中的對作為多個(gè)網(wǎng)格區(qū)域之一的關(guān)注網(wǎng)格區(qū)域進(jìn)行照射的多個(gè)射束的劑量或在關(guān)注網(wǎng)格區(qū)域內(nèi)描繪的圖形的圖案數(shù)據(jù)進(jìn)行修正的修正量，
10、使用修正量對試樣描繪圖案。
11、本發(fā)明一種方式的非暫時(shí)記錄使計(jì)算機(jī)執(zhí)行的程序的可讀取的記錄介質(zhì)，非暫時(shí)記錄使計(jì)算機(jī)執(zhí)行以下功能的程序：
12、針對將由多帶電粒子射束照射的試樣的描繪區(qū)域在描繪行進(jìn)方向及與描繪行進(jìn)方向線性獨(dú)立的方向上分割而成的多個(gè)網(wǎng)格區(qū)域的每一個(gè)，計(jì)算對該網(wǎng)格區(qū)域內(nèi)進(jìn)行照射的射束的劑量的代表值作為劑量代表值的功能；以及
13、通過由供試樣載置的載物臺(tái)的速度、多帶電粒子射束的試樣的面上的描繪行進(jìn)方向的射束陣列區(qū)域的尺寸所決定的內(nèi)核與劑量代表值的卷積處理，分別計(jì)算射束照射引起的熱對多個(gè)網(wǎng)格區(qū)域的每一個(gè)賦予的上升溫度的代表值作為多個(gè)網(wǎng)格區(qū)域各自的有效溫度的功能。
14、本發(fā)明的其他方式的非暫時(shí)記錄使計(jì)算機(jī)執(zhí)行的程序的可讀取的記錄介質(zhì)，非暫時(shí)記錄使計(jì)算機(jī)執(zhí)行以下功能的程序：
15、上述各功能；
16、利用多個(gè)網(wǎng)格區(qū)域的每一個(gè)中的有效溫度，計(jì)算出對多帶電粒子射束中的對作為多個(gè)網(wǎng)格區(qū)域之一的關(guān)注網(wǎng)格區(qū)域進(jìn)行照射的多個(gè)射束的劑量或在關(guān)注網(wǎng)格區(qū)域內(nèi)描繪的圖形的圖案數(shù)據(jù)進(jìn)行修正的修正量的功能；以及
17、使用修正量對試樣描繪圖案的功能。
18、本發(fā)明一個(gè)方式的多帶電粒子射束描繪裝置，其特征在于，具備：
19、劑量代表值計(jì)算電路，針對將由多帶電粒子射束照射的試樣的描繪區(qū)域在描繪行進(jìn)方向及與描繪行進(jìn)方向線性獨(dú)立的方向上分割而成的多個(gè)網(wǎng)格區(qū)域的每一個(gè)，計(jì)算對該網(wǎng)格區(qū)域內(nèi)進(jìn)行照射的射束的劑量的代表值作為劑量代表值；
20、有效溫度計(jì)算電路，通過由供試樣載置的載物臺(tái)的速度、多帶電粒子射束的試樣的面上的射束陣列區(qū)域的描繪行進(jìn)方向的尺寸所決定的內(nèi)核與劑量代表值的卷積處理，分別計(jì)算射束照射引起的熱對多個(gè)網(wǎng)格區(qū)域的每一個(gè)賦予的上升溫度的代表值作為多個(gè)網(wǎng)格區(qū)域各自的有效溫度；
21、修正量計(jì)算電路，利用多個(gè)網(wǎng)格區(qū)域的每一個(gè)中的有效溫度，計(jì)算出對多帶電粒子射束中的對作為多個(gè)網(wǎng)格區(qū)域之一的關(guān)注網(wǎng)格區(qū)域進(jìn)行照射的多個(gè)射束的劑量或在關(guān)注網(wǎng)格區(qū)域內(nèi)描繪的圖形的圖案數(shù)據(jù)進(jìn)行修正的修正量；以及
22、描繪機(jī)構(gòu)，使用所計(jì)算出的修正量，對試樣描繪圖案。
23、發(fā)明的效果
24、根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，在多射束描繪中，不累積每一個(gè)發(fā)射和每一個(gè)射束的溫度上升的影響，能夠修正抗蝕劑熱化。
1.一種多帶電粒子射束描繪區(qū)域的有效溫度計(jì)算方法，其特征在于，
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多帶電粒子射束描繪區(qū)域的有效溫度計(jì)算方法，其特征在于，
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多帶電粒子射束描繪區(qū)域的有效溫度計(jì)算方法，其特征在于，
4.一種多帶電粒子射束描繪方法，使用利用由權(quán)利要求1所述的有效溫度計(jì)算方法求出的所述有效溫度計(jì)算出的修正量對所述試樣描繪圖案，其特征在于，
5.一種記錄介質(zhì)，是非暫時(shí)地記錄程序的可讀取的記錄介質(zhì)，該程序用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行以下功能：
6.一種記錄介質(zhì)，是非暫時(shí)地記錄程序的可讀取的記錄介質(zhì)，該程序用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行以下功能：
7.一種多帶電粒子射束描繪裝置，其特征在于，具備：